本文采用等離子體增強(qiáng)平衡磁控濺射技術(shù),在高速鋼表面進(jìn)行滲氮處理,通過(guò)控制氮?dú)饬髁俊⒒w偏壓、滲氮時(shí)間,研究高速鋼表面滲氮層的厚度、組織形貌及力學(xué)性能;采用等離子體增強(qiáng)平衡磁控濺射技術(shù),在不銹鋼表面制備氮化鉻涂層,通過(guò)控制氮?dú)饬髁?研究氮?dú)饬髁繉?duì)不銹鋼表面涂層的沉積速率、組織形貌及力學(xué)性能的影響;采用等離子體增強(qiáng)平衡磁控濺射技術(shù)及電弧離子鍍技術(shù),分別在C21、12CrMoV及H13剪刃表面涂鍍氮化鈦及氮化鉻涂層,對(duì)比不同工藝及不同基體表面制備涂層的微觀形貌、組織結(jié)構(gòu)及機(jī)械性能的差異。高速鋼滲氮實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:隨著氮?dú)饬髁繌?00sccm增加到200sccm時(shí),滲氮后高速鋼表面以Fe₄N的γ氮化物相形式析出;滲氮層的平均摩擦系數(shù)由0.64減小到0.47,均小于基體的平均摩擦系數(shù)0.8,磨損深度減小。隨著基體偏壓從100V增加到250V時(shí),滲氮層的平均摩擦系數(shù)由0.62減小到0.38,磨損深度減小,氮原子會(huì)在基體組織中的晶界和亞晶界優(yōu)先擴(kuò)散。隨著滲氮時(shí)間從1h增加到4h時(shí),氮化物必然沿晶界、亞晶界生長(zhǎng)聚集成網(wǎng),并且分布不均勻,滲氮后高速鋼表面以Fe₄... 

【文章頁(yè)數(shù)】：72 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

平面圓形靶磁控濺射原理圖

本實(shí)驗(yàn)表征手段

等離子體增強(qiáng)平衡磁控濺射鍍膜系統(tǒng)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]低溫滲氮對(duì)水泵用0Cr13Ni4Mo鋼表面改性研究[J]. 王海珠.  鑄造. 2016(08)
[2]普通掃描電子顯微鏡、環(huán)境掃描電子顯微鏡和激光共聚焦掃描電子顯微鏡在組織工程學(xué)中的應(yīng)用[J]. 傅煬,吳序嘉,祁少海,陳蕾.  中華損傷與修復(fù)雜志(電子版). 2016(04)
[3]H13鋼表面不含白亮層的滲氮層制備及其耐磨性能[J]. 朱瑞華,田林海,鮑明東,馬永,唐賓.  機(jī)械工程材料. 2011(08)
[4]離子滲氮技術(shù)簡(jiǎn)介[J]. 陳立奇,何如俊,朱文明.  熱處理技術(shù)與裝備. 2011(03)
[5]真空鍍膜綜述[J]. 黃鴻宏,黃洪填,黃劍彬,陳錦珍,王兆勤.  現(xiàn)代涂料與涂裝. 2011(06)
[6]Si基底磁控濺射制備CrN薄膜的表面形貌與生長(zhǎng)機(jī)制[J]. 談淑詠,張旭海,吳湘君,蔣建清.  中國(guó)有色金屬學(xué)報(bào). 2011(06)
[7]不同轟擊能量下CrN硬質(zhì)薄膜的生長(zhǎng)方式和擇優(yōu)取向變化[J]. 梁柔,徐雪波,鮑明東,江利.  兵器材料科學(xué)與工程. 2011(02)
[8]靶電流對(duì)TiAlN/TiN復(fù)合膜組織及硬度的影響[J]. 盧龍,任明皓,蔣濤,嚴(yán)鏗.  熱加工工藝. 2010(22)
[9]20鋼滲氮表面500℃鹽浴滲鉻層微觀組織結(jié)構(gòu)研究[J]. 伍翠蘭,元敏,陳汪林.  湖南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2010(09)
[10]預(yù)處理工藝對(duì)磁控濺射鍍膜織物膜基結(jié)合力的影響[J]. 王國(guó)軒,郭興峰.  天津工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào). 2010(04)

博士論文
[1]基于空心陰極放電的材料表面等離子體改性技術(shù)研究[D]. 李楊.大連海事大學(xué) 2012
[2]純氮離子滲氮新工藝及離子滲氮機(jī)理研究[D]. 鐘厲.重慶大學(xué) 2004

碩士論文
[1]42CrMo鋼離子滲氮新技術(shù)研究[D]. 李景才.常州大學(xué) 2014
[2]納米壓痕試驗(yàn)方法研究[D]. 王春亮.機(jī)械科學(xué)研究總院 2007
[3]往復(fù)式摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)的研制[D]. 劉立平.蘭州理工大學(xué) 2006



本文編號(hào)：3679334