鉭酸鋰（LiTaO₃,以下簡稱LT）晶體是一種典型的單晶體多功能材料,具有優(yōu)良的壓電、鐵電、聲光及電光效應(yīng),因而被廣泛應(yīng)用于窄帶濾波器、傳感器、光子可調(diào)諧濾波器、聲光器件、光陀螺儀等。但是由于鉭酸鋰晶體硬度低、脆性大,并且具有強各向異性等特點,在傳統(tǒng)的游離磨料加工中易出現(xiàn)晶片碎裂、磨粒嵌入等問題,導(dǎo)致加工效率相對較低。為了解決游離磨料加工中存在的問題,本文利用固結(jié)磨料盤對鉭酸鋰晶片進行加工,主要研究工作包括以下幾個方面:（1）Y-36°晶向鉭酸鋰晶體的彈性模量與硬度研究采用納米壓痕法研究了Y-36°晶向鉭酸鋰晶片的彈性模量和硬度。在進行納米壓痕實驗時,如果加載力過小,實驗測得的材料硬度和彈性模量結(jié)果容易受LT晶片表面粗糙度和壓頭壓入晶片深度大小的影響,所以用納米壓痕法去研究LT晶體納米力學(xué)性能時應(yīng)選用較大的載荷。實驗測得的Y-36°LT晶體的硬度值約為12.6 GPa。當(dāng)加載力為8¹0 mN時,Y-36°晶向的LT晶體用納米壓痕法測得并計算出來的彈性模量值較穩(wěn)定,其平均值分別大約為235.8 GPa,受晶片表面粗糙度及加載力大小不同的影響較小... 

【文章來源】：浙江工業(yè)大學(xué)浙江省

【文章頁數(shù)】：96 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

LT的晶體結(jié)構(gòu)示意圖

技術(shù)路線

浙江工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文驗原理是利用特制的金剛石壓頭，用毫牛級的載荷力在過程中的壓力、位移等數(shù)據(jù)都會被計算機記錄下而得出材料的硬度和彈性模量[39]。rr 在 1992 年提出了納米壓痕法來計算材料硬度和 方法。在測試時，壓頭壓入材料的深度會隨載荷x是試驗加載的最大載荷，hmax是壓頭相對于材料載后殘余的壓痕深度。卸載曲線初始部分近似于，即為被測材料的卸載剛度 S(即 dp/dh)，也稱為


本文編號：3515011