Co-Re化學氣相沉積設備與控制系統設計
發(fā)布時間:2021-11-11 00:21
錸(Re)及其合金具有優(yōu)異的高溫力學、抗熱疲勞、耐磨、抗腐蝕以及催化等特性,廣泛應用于國防、航空航天、電子以及石油化工等領域。在難熔金屬Re中加入鈷(Co)形成鈷錸(Co-Re)合金,可以有效地提高材料的抗氧化能力,拓展Re涂層在高溫環(huán)境下的使用范圍,同時降低制備Re涂層的成本。為了開展錸合金層的低溫(<600℃)、低成本、環(huán)境友好型化學氣相沉積制備技術,采用兩個升華室,分別以Co(acac)2和Re2(CO)10為前驅體,通過運載氣體H2輸運至反應室,在速射武器身管鋼基體上(0CrNi2MoVA型鋼材)同時沉積Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗燒蝕涂層。采用道爾頓分壓定律計算出設備升華室和反應室的尺寸。采用計算流體力學CFD方法對Co-Re化學氣相沉積設備反應室進行三維數值模擬分析,以分析基底附近速度場是否均勻為目的,研究了不同進氣口形狀、位置、流量大小以及壓力對基底附近流場的影響。對Co-Re化學氣相沉積設備機械系統和控制系統進行設計與選型。結論如下:1)Co-Re化學氣相沉積設備由...
【文章來源】:西南科技大學四川省
【文章頁數】:59 頁
【學位級別】:碩士
【部分圖文】:
化學鍍裝置
1.2.1 化學鍍(Electroless plating)圖 1-1 化學鍍裝置Co 涂層一般通過化學鍍的方法制備,制備裝置如圖 1-1 所示,不需要外接電只需將鍍件沉浸在鍍液當中[5],以鍍液作為還原劑,將鍍液中的金屬離子還原并沉積在鍍件上。Co 涂層的制備速率取決于鍍液的組分及其濃度、pH 值及;瘜W鍍后一般鍍層比較均勻、并且組織結構良好、工藝設備簡單且制備出合力一般優(yōu)于電鍍。1.2.2 激光熔覆(Laser Cladding)
1 緒論備工藝物理性能,使得它的高熔點特性應用在高溫材通過電子束-物理氣相沉積(EB-PVD)、熔鹽電等方法制備的。物理氣相沉積(EB-PVD)十分有效的制備 Re 涂層的方法之一,沉積過通過電子槍高速射擊到基底材料上,原料分子在生長速率和涂層的厚度取決于電子槍的功率、料的揮發(fā)速度等。
本文編號:3488237
【文章來源】:西南科技大學四川省
【文章頁數】:59 頁
【學位級別】:碩士
【部分圖文】:
化學鍍裝置
1.2.1 化學鍍(Electroless plating)圖 1-1 化學鍍裝置Co 涂層一般通過化學鍍的方法制備,制備裝置如圖 1-1 所示,不需要外接電只需將鍍件沉浸在鍍液當中[5],以鍍液作為還原劑,將鍍液中的金屬離子還原并沉積在鍍件上。Co 涂層的制備速率取決于鍍液的組分及其濃度、pH 值及;瘜W鍍后一般鍍層比較均勻、并且組織結構良好、工藝設備簡單且制備出合力一般優(yōu)于電鍍。1.2.2 激光熔覆(Laser Cladding)
1 緒論備工藝物理性能,使得它的高熔點特性應用在高溫材通過電子束-物理氣相沉積(EB-PVD)、熔鹽電等方法制備的。物理氣相沉積(EB-PVD)十分有效的制備 Re 涂層的方法之一,沉積過通過電子槍高速射擊到基底材料上,原料分子在生長速率和涂層的厚度取決于電子槍的功率、料的揮發(fā)速度等。
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