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Co-Re化學(xué)氣相沉積設(shè)備與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)

發(fā)布時(shí)間:2021-11-11 00:21
  錸(Re)及其合金具有優(yōu)異的高溫力學(xué)、抗熱疲勞、耐磨、抗腐蝕以及催化等特性,廣泛應(yīng)用于國(guó)防、航空航天、電子以及石油化工等領(lǐng)域。在難熔金屬Re中加入鈷(Co)形成鈷錸(Co-Re)合金,可以有效地提高材料的抗氧化能力,拓展Re涂層在高溫環(huán)境下的使用范圍,同時(shí)降低制備Re涂層的成本。為了開(kāi)展錸合金層的低溫(<600℃)、低成本、環(huán)境友好型化學(xué)氣相沉積制備技術(shù),采用兩個(gè)升華室,分別以Co(acac)2和Re2(CO)10為前驅(qū)體,通過(guò)運(yùn)載氣體H2輸運(yùn)至反應(yīng)室,在速射武器身管鋼基體上(0CrNi2MoVA型鋼材)同時(shí)沉積Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗燒蝕涂層。采用道爾頓分壓定律計(jì)算出設(shè)備升華室和反應(yīng)室的尺寸。采用計(jì)算流體力學(xué)CFD方法對(duì)Co-Re化學(xué)氣相沉積設(shè)備反應(yīng)室進(jìn)行三維數(shù)值模擬分析,以分析基底附近速度場(chǎng)是否均勻?yàn)槟康?研究了不同進(jìn)氣口形狀、位置、流量大小以及壓力對(duì)基底附近流場(chǎng)的影響。對(duì)Co-Re化學(xué)氣相沉積設(shè)備機(jī)械系統(tǒng)和控制系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)計(jì)與選型。結(jié)論如下:1)Co-Re化學(xué)氣相沉積設(shè)備由... 

【文章來(lái)源】:西南科技大學(xué)四川省

【文章頁(yè)數(shù)】:59 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【部分圖文】:

Co-Re化學(xué)氣相沉積設(shè)備與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)


化學(xué)鍍裝置

過(guò)程圖,激光熔覆,過(guò)程,化學(xué)鍍


1.2.1 化學(xué)鍍(Electroless plating)圖 1-1 化學(xué)鍍裝置Co 涂層一般通過(guò)化學(xué)鍍的方法制備,制備裝置如圖 1-1 所示,不需要外接電只需將鍍件沉浸在鍍液當(dāng)中[5],以鍍液作為還原劑,將鍍液中的金屬離子還原并沉積在鍍件上。Co 涂層的制備速率取決于鍍液的組分及其濃度、pH 值及。化學(xué)鍍后一般鍍層比較均勻、并且組織結(jié)構(gòu)良好、工藝設(shè)備簡(jiǎn)單且制備出合力一般優(yōu)于電鍍。1.2.2 激光熔覆(Laser Cladding)

沉積過(guò)程,物理氣相沉積,電子槍


1 緒論備工藝物理性能,使得它的高熔點(diǎn)特性應(yīng)用在高溫材通過(guò)電子束-物理氣相沉積(EB-PVD)、熔鹽電等方法制備的。物理氣相沉積(EB-PVD)十分有效的制備 Re 涂層的方法之一,沉積過(guò)通過(guò)電子槍高速射擊到基底材料上,原料分子在生長(zhǎng)速率和涂層的厚度取決于電子槍的功率、料的揮發(fā)速度等。


本文編號(hào):3488237

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