基于溶膠-凝膠法所制備而成的生物高分子柔性拋光膜在晶圓拋光加工過(guò)程中具有高精度、低損傷等優(yōu)點(diǎn)。但由于金剛石是由共價(jià)鍵結(jié)合而成的晶體,它與生物高分子材料結(jié)合較差,導(dǎo)致在加工過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)磨料脫落等問(wèn)題,因此如何提高磨料與基體的界面結(jié)合以及如何測(cè)量磨料與基體的界面結(jié)合強(qiáng)度成為目前所需要解決的關(guān)鍵問(wèn)題。本文采用了兩種界面結(jié)合強(qiáng)度的測(cè)量表征方法,并基于兩種測(cè)量方式評(píng)價(jià)了不同的表面處理方式對(duì)于界面結(jié)合強(qiáng)度的影響,考慮了添加偶聯(lián)劑、鍍覆金屬鈦、鍍覆金屬鈦后表面氧化、涂覆羥基氧化鐵等表面處理方式的影響,同時(shí)研究了磨料粒度對(duì)界面結(jié)合強(qiáng)度的影響。第一種方法是直接拉拔法,通過(guò)粘結(jié)劑將金剛石磨料直接從生物高分子基體中拉拔出,測(cè)定拉拔時(shí)所需要的拉拔力,并測(cè)定磨料與基體的接觸面積,從而計(jì)算得到磨料與基體的界面結(jié)合強(qiáng)度。第二種方法是基于拋光膜的拉伸強(qiáng)度來(lái)表征磨料與基體的界面結(jié)合強(qiáng)度,通過(guò)分析可以知道,磨料與基體的界面結(jié)合強(qiáng)度變化會(huì)直接導(dǎo)致生物高分子基體材料的拉伸強(qiáng)度發(fā)生變化,因此本論文嘗試使用拋光膜的拉伸強(qiáng)度來(lái)直接表征磨料與基體的界面結(jié)合強(qiáng)度。通過(guò)直接拉拔法對(duì)磨料與基體的界面結(jié)合強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)量,發(fā)現(xiàn)隨著磨料粒度的增大... 

【文章來(lái)源】：華僑大學(xué)福建省

【文章頁(yè)數(shù)】：76 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

半固結(jié)磨料的“容沒(méi)”效應(yīng)

固結(jié)磨料中磨粒位置示意圖

金剛石磨料鍍鈦后鍍層結(jié)構(gòu)示意圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]金剛石/Cu復(fù)合界面導(dǎo)熱改性及其納米化研究進(jìn)展[J]. 張荻,苑孟穎,譚占秋,熊定邦,李志強(qiáng).  金屬學(xué)報(bào). 2018(11)
[2]真空蒸發(fā)鍍鎢金剛石制備工藝及其抗氧化性能研究[J]. 魏洪濤,吳益雄,陳家泓,毛俊波,張鳳林.  超硬材料工程. 2018(02)
[3]溶膠-凝膠材料的制備及其應(yīng)用[J]. 吳明明,趙雄燕,孫占英.  應(yīng)用化工. 2018(04)
[4]藍(lán)寶石超精密研磨加工研究進(jìn)展[J]. 萬(wàn)林林,戴鵬,劉志堅(jiān),鄧朝暉.  兵器材料科學(xué)與工程. 2018(01)
[5]金剛石微粉表面鍍覆技術(shù)研究進(jìn)展[J]. 竇志強(qiáng),肖長(zhǎng)江,栗正新.  電鍍與精飾. 2017(10)
[6]納米金剛石及相關(guān)材料的真空鍍覆及應(yīng)用進(jìn)展[J]. 張艷,臧建兵,徐漢清,韓嬋,陳麗貝,王艷輝.  金剛石與磨料磨具工程. 2017(04)
[7]金剛石與結(jié)合劑界面研究現(xiàn)狀[J]. 王麗晶,栗正新.  超硬材料工程. 2017(03)
[8]金屬胎體對(duì)金剛石把持力的概述[J]. 趙小軍,段隆臣,契霍特金.V.F,翁華強(qiáng).  金剛石與磨料磨具工程. 2015(06)
[9]凝膠結(jié)合劑超細(xì)金剛石磨粒工具的制備及應(yīng)用[J]. 陸靜,羅求發(fā),宋運(yùn)運(yùn),胡光球,徐西鵬.  機(jī)械工程學(xué)報(bào). 2015(15)
[10]燕山大學(xué)超硬材料研究室科研成果推廣[J].   金剛石與磨料磨具工程. 2014(02)

博士論文
[1]納米金剛石和碳納米管表面納米涂層制備及結(jié)構(gòu)性能研究[D]. 陸靜.燕山大學(xué) 2009
[2]金剛石磨料表面鍍鈦層的制備、結(jié)構(gòu)、性能及應(yīng)用[D]. 王艷輝.燕山大學(xué) 2003

碩士論文
[1]金屬結(jié)合劑對(duì)金剛石把持力的研究[D]. 張恒濤.河南工業(yè)大學(xué) 2014
[2]陶瓷結(jié)合劑對(duì)金剛石顆粒把持力的研究[D]. 楊雪峰.河南工業(yè)大學(xué) 2011



本文編號(hào)：3259723