CVD法制備鈀改性鋁化物涂層工藝及性能研究
發(fā)布時間:2021-04-10 03:00
隨著人們對航空發(fā)動機(jī)更高性能的不斷追求,使得渦輪葉片面對的溫度越來越高,這對制備葉片的材料性能提出新的挑戰(zhàn)。使用化學(xué)氣相沉積法可以在空心葉片表面和內(nèi)腔制備一層鋁化物涂層,用于抵抗高溫氧化和熱腐蝕,目前單一鋁化物涂層難以滿足相關(guān)行業(yè)的需要,通過改性可以提高鋁化物涂層的性能。本文在Inconel 718鎳基高溫合金表面制備了化學(xué)鍍Pd層、電鍍Pd層及電鍍Pd+Ni雙層鍍層,并對鍍Pd后的退火處理工藝進(jìn)行研究,最后選定了 850℃×1h退火擴(kuò)散工藝。本文使用的化學(xué)鍍鈀工藝會在鈀層中夾雜少量磷元素,但在退火過程中大部分會氣化消失,退火后鍍層含磷極低,小于EDS所能檢測范圍。本文對退火擴(kuò)散后的鍍鈀試樣使用CVD法滲鋁,成功在Inconel 718鎳基高溫合金表面制備鈀改性鋁化物涂層,鈀改性鋁化物涂層的雙層結(jié)構(gòu)與單一鋁化物涂層非常相似,元素(如Ni、Al)分布規(guī)律也十分相近,這些跡象表明,鈀并沒有從根本上改變鋁化物涂層的形成機(jī)制。通過研究不同鍍鈀工藝對鈀改性鋁化物涂層的組織、結(jié)構(gòu)的影響,結(jié)果表明鈀元素的加入可以有效提高鋁化物涂層的厚度,在相同滲鋁條件下,鈀改性鋁化物涂層厚度顯著大于單一鋁化物涂層。...
【文章來源】:機(jī)械科學(xué)研究總院北京市
【文章頁數(shù)】:81 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【部分圖文】:
圖1-1航空發(fā)動機(jī)空心葉片結(jié)構(gòu)示意圖??
?機(jī)械科學(xué)研究總院碩士學(xué)位論文???可以消除涂層中脆性相,改善涂層力學(xué)性能[34,35]。??■■■■■■■■■■??—…一??NNi,?P,)A.?_,準(zhǔn)????,’?,廣、、??????—??????\二,??IDZ??IDZ??Substrate?—?-?-?-?—?????>?—、?_??Substrate??gj?^?i.?it*??圖1-2鈾改性鋁化物涂層橫截面微觀結(jié)構(gòu)??1.?3.?2.?1鈀改性鋁化物涂層的結(jié)構(gòu)??鈀改性鋁化物涂層結(jié)構(gòu)與單一鋁化物涂層相似,研究人員對比了不同的合金和??不同的滲鋁條件下得到的鈀改性鋁化物涂層,得到的結(jié)果非常相似,對于不同沉積??鈀的方法(如電鍍或化學(xué)鍍),不同的滲鋁工藝(如包埋法或氣相法),涂層的結(jié)構(gòu)都??幾乎相同,在所有情況下都觀察到與經(jīng)典滲鋁處理中非常相似的兩層結(jié)構(gòu)。這些觀??察表明,鈀并沒有從根本上改變鍍層的形成機(jī)制[39,43,44]。??圖1-3為Inconel?713?LC鎳基高溫合金鈀改性滲鋁層橫截面上的1觀結(jié)構(gòu)[45】,??為明顯的雙層結(jié)構(gòu),即外層(Outer?Zone,OZ)和互擴(kuò)散層(Inter-Diffusion?Zone,??IDZ),外層為較純凈的均質(zhì)相,互擴(kuò)散區(qū)則出現(xiàn)小的塊狀或條狀析出物。外層主要??為Al、Ni和Pd元素,為(Ni,Pd)Al相,是固溶了?Pd元素的p-NiAl相,一些基體中??的元素(如Cr、Ti等)也會擴(kuò)散到其中,靠近表面的一側(cè)Pd元素較高,靠近擴(kuò)散??層的一側(cè)Ni元素含量較高,因此一些學(xué)者又將外層細(xì)分為兩層:外層為富Pd的??(Pd,Ni)Al相,內(nèi)層為富Ni的(Ni,P
?機(jī)械科學(xué)研究總院碩士學(xué)位論文???圖1-3?Inconel?713?LC鎳基高溫合金鈀改性滲鋁層橫截面上的微觀結(jié)構(gòu)[?]??與單一鋁化物涂層相似,根據(jù)滲鋁溫度的不同,可將滲鋁分為高溫低活性滲鋁??及低溫高活性滲鋁。在不同的滲鋁方式下,鋁化物涂層的生長方式有所不同[36,46,47],??以粉末包埋法為例,在低溫高活性滲鋁過程中,A1元素的活性相對于Ni元素較高,??滲鋁過程中Ni原子向外擴(kuò)散速度小于A1原子向內(nèi)擴(kuò)散速度,A1原子向內(nèi)擴(kuò)散在涂??層的形成起主導(dǎo)作用,最終形成內(nèi)擴(kuò)散型涂層。在生長過程中,外層會先形成??(Ni,Pd)2Al3+(Ni,Pd)Al相,隨著由于后續(xù)A1的擴(kuò)散,(Ni,Pd)2Al3相會轉(zhuǎn)變?yōu)楦臃(wěn)??定的(Ni,Pd)Al。在高溫低活性滲鋁過程中,Ni原子擴(kuò)散較快,Ni原子向外擴(kuò)散,與??吸附在基體表面的A1原子反應(yīng)而形成鋁化物涂層,因此涂層主要以向外生長方式??為主。同時,A1和Ni的相對擴(kuò)散速度還會對Pd的分布有較大影響。圖1-4為Rene80??鎳基高溫合金上鈀改性鋁化物涂層橫截面上的化學(xué)組分[35],在低溫高活度滲鋁涂層??中,涂層中的鈀分布相當(dāng)規(guī)則,濃度分布單調(diào)下降,鈀濃度在表面最大,一般不會??擴(kuò)散到基體;在高溫低活度滲鋁涂層中,鈀的最大濃度也出現(xiàn)在表面,其值與在高??活性涂層中觀察到的相似,但下降幅度較緩,并會出現(xiàn)一定起伏,如先下降后上升??再下降,并非單調(diào)下降,同時,鈀還常常擴(kuò)散到基體合金中。??70?了???70j????D°°t3o〇〇〇〇?' ̄?^?60-????/yi>〇〇〇〇〇〇〇〇tV〇0?—**— ̄?w??P?廠?二:二:??:?二:?
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]多孔不銹鋼基體上鈀膜沉積的制備研究[J]. 宋雅琪,陳長安,楊飛龍,高洋. 熱加工工藝. 2019(12)
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[5]高溫防護(hù)涂層研究進(jìn)展[J]. 王心悅,辛麗,韋華,朱圣龍,王福會. 腐蝕科學(xué)與防護(hù)技術(shù). 2013(03)
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[9]微量元素磷在鐵鎳基變形高溫合金中的作用[J]. 胡壯麒,孫文儒,郭守仁,盧德忠. 中國有色金屬學(xué)報. 2001(06)
博士論文
[1]Pt改性鋁化物涂層的制備科學(xué)及性能研究[D]. 陽穎飛.中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2017
[2]不銹鋼表面高耐蝕性鈀系膜層的制備與應(yīng)用研究[D]. 唐鋆磊.北京化工大學(xué) 2010
[3]噴丸加速制備納米結(jié)構(gòu)鋁化物涂層的研究[D]. 詹肇麟.北京科技大學(xué) 2005
碩士論文
[1]CVD法制備Pt改性鋁化物涂層工藝及性能研究[D]. 張磊.機(jī)械科學(xué)研究總院 2019
[2]CVD法硅改性鋁化物復(fù)合涂層工藝及性能研究[D]. 楊甫.機(jī)械科學(xué)研究總院 2015
[3]原位化學(xué)氣相沉積制備鋁化物涂層及其性能研究[D]. 路通.北京航空航天大學(xué) 2010
[4]304不銹鋼化學(xué)鍍Pd、Ag、Pd-Ag工藝及性能研究[D]. 范崇智.北京化工大學(xué) 2006
本文編號:3128825
【文章來源】:機(jī)械科學(xué)研究總院北京市
【文章頁數(shù)】:81 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【部分圖文】:
圖1-1航空發(fā)動機(jī)空心葉片結(jié)構(gòu)示意圖??
?機(jī)械科學(xué)研究總院碩士學(xué)位論文???可以消除涂層中脆性相,改善涂層力學(xué)性能[34,35]。??■■■■■■■■■■??—…一??NNi,?P,)A.?_,準(zhǔn)????,’?,廣、、??????—??????\二,??IDZ??IDZ??Substrate?—?-?-?-?—?????>?—、?_??Substrate??gj?^?i.?it*??圖1-2鈾改性鋁化物涂層橫截面微觀結(jié)構(gòu)??1.?3.?2.?1鈀改性鋁化物涂層的結(jié)構(gòu)??鈀改性鋁化物涂層結(jié)構(gòu)與單一鋁化物涂層相似,研究人員對比了不同的合金和??不同的滲鋁條件下得到的鈀改性鋁化物涂層,得到的結(jié)果非常相似,對于不同沉積??鈀的方法(如電鍍或化學(xué)鍍),不同的滲鋁工藝(如包埋法或氣相法),涂層的結(jié)構(gòu)都??幾乎相同,在所有情況下都觀察到與經(jīng)典滲鋁處理中非常相似的兩層結(jié)構(gòu)。這些觀??察表明,鈀并沒有從根本上改變鍍層的形成機(jī)制[39,43,44]。??圖1-3為Inconel?713?LC鎳基高溫合金鈀改性滲鋁層橫截面上的1觀結(jié)構(gòu)[45】,??為明顯的雙層結(jié)構(gòu),即外層(Outer?Zone,OZ)和互擴(kuò)散層(Inter-Diffusion?Zone,??IDZ),外層為較純凈的均質(zhì)相,互擴(kuò)散區(qū)則出現(xiàn)小的塊狀或條狀析出物。外層主要??為Al、Ni和Pd元素,為(Ni,Pd)Al相,是固溶了?Pd元素的p-NiAl相,一些基體中??的元素(如Cr、Ti等)也會擴(kuò)散到其中,靠近表面的一側(cè)Pd元素較高,靠近擴(kuò)散??層的一側(cè)Ni元素含量較高,因此一些學(xué)者又將外層細(xì)分為兩層:外層為富Pd的??(Pd,Ni)Al相,內(nèi)層為富Ni的(Ni,P
?機(jī)械科學(xué)研究總院碩士學(xué)位論文???圖1-3?Inconel?713?LC鎳基高溫合金鈀改性滲鋁層橫截面上的微觀結(jié)構(gòu)[?]??與單一鋁化物涂層相似,根據(jù)滲鋁溫度的不同,可將滲鋁分為高溫低活性滲鋁??及低溫高活性滲鋁。在不同的滲鋁方式下,鋁化物涂層的生長方式有所不同[36,46,47],??以粉末包埋法為例,在低溫高活性滲鋁過程中,A1元素的活性相對于Ni元素較高,??滲鋁過程中Ni原子向外擴(kuò)散速度小于A1原子向內(nèi)擴(kuò)散速度,A1原子向內(nèi)擴(kuò)散在涂??層的形成起主導(dǎo)作用,最終形成內(nèi)擴(kuò)散型涂層。在生長過程中,外層會先形成??(Ni,Pd)2Al3+(Ni,Pd)Al相,隨著由于后續(xù)A1的擴(kuò)散,(Ni,Pd)2Al3相會轉(zhuǎn)變?yōu)楦臃(wěn)??定的(Ni,Pd)Al。在高溫低活性滲鋁過程中,Ni原子擴(kuò)散較快,Ni原子向外擴(kuò)散,與??吸附在基體表面的A1原子反應(yīng)而形成鋁化物涂層,因此涂層主要以向外生長方式??為主。同時,A1和Ni的相對擴(kuò)散速度還會對Pd的分布有較大影響。圖1-4為Rene80??鎳基高溫合金上鈀改性鋁化物涂層橫截面上的化學(xué)組分[35],在低溫高活度滲鋁涂層??中,涂層中的鈀分布相當(dāng)規(guī)則,濃度分布單調(diào)下降,鈀濃度在表面最大,一般不會??擴(kuò)散到基體;在高溫低活度滲鋁涂層中,鈀的最大濃度也出現(xiàn)在表面,其值與在高??活性涂層中觀察到的相似,但下降幅度較緩,并會出現(xiàn)一定起伏,如先下降后上升??再下降,并非單調(diào)下降,同時,鈀還常常擴(kuò)散到基體合金中。??70?了???70j????D°°t3o〇〇〇〇?' ̄?^?60-????/yi>〇〇〇〇〇〇〇〇tV〇0?—**— ̄?w??P?廠?二:二:??:?二:?
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期刊論文
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[6]航空發(fā)動機(jī)用高溫防護(hù)涂層研究進(jìn)展[J]. 李民,程玉賢. 中國表面工程. 2012(01)
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[9]微量元素磷在鐵鎳基變形高溫合金中的作用[J]. 胡壯麒,孫文儒,郭守仁,盧德忠. 中國有色金屬學(xué)報. 2001(06)
博士論文
[1]Pt改性鋁化物涂層的制備科學(xué)及性能研究[D]. 陽穎飛.中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2017
[2]不銹鋼表面高耐蝕性鈀系膜層的制備與應(yīng)用研究[D]. 唐鋆磊.北京化工大學(xué) 2010
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[1]CVD法制備Pt改性鋁化物涂層工藝及性能研究[D]. 張磊.機(jī)械科學(xué)研究總院 2019
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[4]304不銹鋼化學(xué)鍍Pd、Ag、Pd-Ag工藝及性能研究[D]. 范崇智.北京化工大學(xué) 2006
本文編號:3128825
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