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光學(xué)鏡片小磨頭拋光工藝仿真分析

發(fā)布時(shí)間:2021-04-01 06:07
  非球面光學(xué)鏡片應(yīng)用在光學(xué)系統(tǒng)中可以有效改善成像質(zhì)量,減少系統(tǒng)中光學(xué)鏡片的數(shù)量,使其體積減小、結(jié)構(gòu)簡化、重量減輕,因此被廣泛地應(yīng)用于航空航天、光學(xué)儀器等領(lǐng)域。關(guān)于非球面鏡片的加工,當(dāng)前最常見的是計(jì)算機(jī)控制小磨頭拋光技術(shù),其中輪式磨頭拋光技術(shù)因其材料去除函數(shù)束徑較小、輪廓趨于高斯分布且穩(wěn)定性較高等特點(diǎn),可以較好地修正光學(xué)表面面形誤差、減小邊緣效應(yīng)的影響。但該技術(shù)存在加工時(shí)間長、加工精度有待提高等問題。為此,本文針對該磨頭拋光技術(shù)中的駐留時(shí)間算法、拋光軌跡規(guī)劃方法進(jìn)行了優(yōu)化。首先對磨頭拋光材料去除函數(shù)進(jìn)行建模及分析。基于Preston方程并運(yùn)用矢量分析法對輪式拋光磨頭材料去除函數(shù)進(jìn)行建模,得出在轉(zhuǎn)速比大于0.1的情況下生成的去除函數(shù)輪廓滿足類高斯分布,且輪式拋光磨頭由于其結(jié)構(gòu)上的優(yōu)勢相較于傳統(tǒng)的盤式拋光磨頭具有去除函數(shù)束徑。ǹ捎行p少邊緣效應(yīng))、加工過程穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。然后,基于輪式拋光磨頭的去除函數(shù)對駐留時(shí)間求解算法進(jìn)行優(yōu)化。駐留時(shí)間求解是拋光中修正光學(xué)鏡片表面面形誤差的關(guān)鍵問題之一,根據(jù)小磨頭拋光過程的實(shí)際物理意義,將駐留時(shí)間的求解過程由反卷積求解方式轉(zhuǎn)化為矩陣方程求解。同時(shí)引入α正則化因... 

【文章來源】:福州大學(xué)福建省 211工程院校

【文章頁數(shù)】:79 頁

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【部分圖文】:

光學(xué)鏡片小磨頭拋光工藝仿真分析


麥哲倫望遠(yuǎn)鏡

數(shù)控加工中心,光學(xué),應(yīng)力盤


計(jì)制造出國內(nèi)第一臺(tái)數(shù)字控制非球面光學(xué)加工中心FSGJ-1,并從此后相繼研制??了?FSGJ-2、FSGJ-2A以及FSGJ-3等一系列光學(xué)數(shù)控加工中心,這些成果標(biāo)志著??我國的CCOS加工技術(shù)已經(jīng)邁入實(shí)質(zhì)應(yīng)用階段[2(W3]。如圖1-2所示為FSGJ系列??CCOS加工設(shè)備:??mm??Mm??圖1-2?FSGJ系列光學(xué)數(shù)控加工中心??1.2.2應(yīng)力盤拋光技術(shù)??應(yīng)力盤拋光技術(shù)的提出可以看做是對CCOS技術(shù)的補(bǔ)充和發(fā)展,為了克服??CCOS技術(shù)中剛性拋光盤與光學(xué)鏡片表面不貼合的缺點(diǎn),在1984年,Angles等??人發(fā)明了一種可在加工過程中對磨盤的變形量進(jìn)行主動(dòng)控制的方法,從而使磨盤??形狀可以很好的貼合光學(xué)鏡片的表面輪廓[24,25]。??其原理可描述為:在應(yīng)力盤拋光加工過程中,計(jì)算機(jī)向驅(qū)動(dòng)器(安裝在應(yīng)力??盤上)發(fā)送拋光盤相對光學(xué)鏡片的位置、方向指令,在接收指令后驅(qū)動(dòng)器改變拋??光盤邊緣力矩的強(qiáng)度,從而使應(yīng)力盤在加工過程中始終保持與光學(xué)鏡片表面面形??相匹配。如圖1-3所示為應(yīng)力盤拋光加工圖:??4??

應(yīng)力盤,拋光加工


國亞利桑那大學(xué)斯蒂瓦天文臺(tái)大鏡實(shí)驗(yàn)室Martin等通過應(yīng)力盤拋功加工了一系列的滿足不同要求的光學(xué)鏡片,通過對一大型雙目望遠(yuǎn)口徑為8.4米)進(jìn)行加工后,得到了面形精度為RMS15nm的有效表在國內(nèi),南京天文臺(tái),成都光電研究所以及長春光機(jī)所等多家單位也徑非球面加工應(yīng)力盤加工技術(shù)的相關(guān)研究,他們的加工方法與創(chuàng)始人天文臺(tái)Zheng等對于應(yīng)力盤拋光技術(shù)中形狀控制策略進(jìn)行了系統(tǒng)的討應(yīng)力盤拋光裝置,完成對口徑為910_、F/2.0的拋物面的加工,得物面的面形精度RMS<22nm[27]。在2006年成都光電所針對應(yīng)力盤面非線性問題,提出了采用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法來解決的辦法。同時(shí)采用應(yīng)力制造一塊口徑1300mmf/2的拋物面,取得了較好的效果。??氣囊拋光技術(shù)??20世紀(jì)90年代,英國ZEEKO公司和倫敦光學(xué)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合提出了氣術(shù),并成功應(yīng)用于非球面拋光加工中[28]。圖1-4所示為英國ZEEKO


本文編號(hào):3112818

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