鈦合金具有比強(qiáng)度高、耐蝕性好、耐熱性高等優(yōu)點(diǎn),已經(jīng)廣泛應(yīng)用于飛機(jī)結(jié)構(gòu)材料中,用于制造航空發(fā)動機(jī)風(fēng)扇、壓氣機(jī)輪盤、葉片等重要飛機(jī)結(jié)構(gòu)件。TA19合金密度低,是一種高Al當(dāng)量的近α型中強(qiáng)度鈦合金,特別適合于制造各種焊接零部件,是高溫應(yīng)用的理想材料。但TA19合金的耐磨性能較差,限制了其應(yīng)用,為解決這一問題,本文擬采用反應(yīng)磁控濺射技術(shù)改善TA19合金表面的耐磨性。本課題通過反應(yīng)磁控濺射技術(shù),在TA19合金表面制備TiAlN硬質(zhì)薄膜。首先設(shè)計(jì)正交試驗(yàn),分析濺射功率、工作氣壓、Ar/N₂流量比和工作時(shí)間四個工藝參數(shù)對TiAlN薄膜性能的影響,得出最佳工藝參數(shù)。然后觀察分析最佳工藝參數(shù)下制備的TiAlN薄膜的組織結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能,采用SEM、EDS及XRD分析薄膜的表面及截面形貌、成分分布和相結(jié)構(gòu),測試薄膜的顯微硬度、粗糙度和結(jié)合力大小。最后進(jìn)行球-盤磨損試驗(yàn),探究載荷、速度和溫度三個因素對TA19合金和TiAlN薄膜的摩擦磨損性能的影響。試驗(yàn)結(jié)果表明:（1）反應(yīng)磁控濺射制備TiAlN薄膜的最佳工藝參數(shù)為:濺射功率250W,工作氣壓0.8Pa,氬氮流量比30:40,工作時(shí)間3h... 

【文章來源】：南京航空航天大學(xué)江蘇省 211工程院校

【文章頁數(shù)】：81 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

Ti1-xAlxN涂層的硬度與彈性模量隨Al含量的變化

TiAlN薄膜的制備及摩擦研究行為研究技術(shù)路線

DBY501型磁控濺射爐實(shí)物圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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[3]TiN系硬質(zhì)薄膜的制備及性能研究[D]. 張啟沛.華南理工大學(xué) 2014
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本文編號：3080211