鈦合金具有比強度高、耐蝕性好、耐熱性高等優(yōu)點,已經廣泛應用于飛機結構材料中,用于制造航空發(fā)動機風扇、壓氣機輪盤、葉片等重要飛機結構件。TA19合金密度低,是一種高Al當量的近α型中強度鈦合金,特別適合于制造各種焊接零部件,是高溫應用的理想材料。但TA19合金的耐磨性能較差,限制了其應用,為解決這一問題,本文擬采用反應磁控濺射技術改善TA19合金表面的耐磨性。本課題通過反應磁控濺射技術,在TA19合金表面制備TiAlN硬質薄膜。首先設計正交試驗,分析濺射功率、工作氣壓、Ar/N₂流量比和工作時間四個工藝參數對TiAlN薄膜性能的影響,得出最佳工藝參數。然后觀察分析最佳工藝參數下制備的TiAlN薄膜的組織結構和力學性能,采用SEM、EDS及XRD分析薄膜的表面及截面形貌、成分分布和相結構,測試薄膜的顯微硬度、粗糙度和結合力大小。最后進行球-盤磨損試驗,探究載荷、速度和溫度三個因素對TA19合金和TiAlN薄膜的摩擦磨損性能的影響。試驗結果表明:（1）反應磁控濺射制備TiAlN薄膜的最佳工藝參數為:濺射功率250W,工作氣壓0.8Pa,氬氮流量比30:40,工作時間3h... 

【文章來源】：南京航空航天大學江蘇省 211工程院校

【文章頁數】：81 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

Ti1-xAlxN涂層的硬度與彈性模量隨Al含量的變化

TiAlN薄膜的制備及摩擦研究行為研究技術路線

DBY501型磁控濺射爐實物圖

【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號：3080211