大行程高精度定位進(jìn)給系統(tǒng)在振動(dòng)測(cè)試、武器裝配、航天航空、IC制造、MEMS制造、精密光學(xué)儀器等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。隨著精密加工技術(shù)的飛速發(fā)展,傳統(tǒng)單一驅(qū)動(dòng)方式下的行程與精度兩大要素的對(duì)立關(guān)系凸顯。宏/微雙驅(qū)動(dòng)的定位進(jìn)給方式有效的解決了大行程、高精度要求的技術(shù)難題,同時(shí)集合了宏驅(qū)動(dòng)平臺(tái)快速移動(dòng)、遠(yuǎn)距離傳送和微驅(qū)動(dòng)平臺(tái)的精度高、響應(yīng)快、體積小等優(yōu)勢(shì),為精密、高精密加工制造提供了良好的方案策略,推動(dòng)著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展。本文基于國家自然科學(xué)基金--骨植入體材料多孔鈦合金介觀尺度切削機(jī)理及微結(jié)構(gòu)加工結(jié)構(gòu)完整性研究（基金號(hào):51305174）的項(xiàng)目背景,并針對(duì)國內(nèi)外目前關(guān)于宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀,提出了一種雙層疊加式宏/微二級(jí)驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案。宏動(dòng)平臺(tái)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)和光柵尺測(cè)量反饋;微動(dòng)平臺(tái)采用PZT壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)與柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)傳動(dòng)定位配合,并采用激光干涉儀進(jìn)行微動(dòng)系統(tǒng)的精度檢測(cè);微驅(qū)動(dòng)平臺(tái)疊加在宏驅(qū)動(dòng)平臺(tái)上,隨宏驅(qū)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行大行程移動(dòng)。在控制系統(tǒng)方面,提出了宏動(dòng)平臺(tái)部分采用固高運(yùn)動(dòng)控制器進(jìn)行平面二維平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制,微動(dòng)平臺(tái)部分根據(jù)HSPY精密可調(diào)電源RS232傳輸標(biāo)準(zhǔn)開發(fā)輸... 

【文章來源】：江蘇科技大學(xué)江蘇省

【文章頁數(shù)】：101 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 課題的研究背景與意義
    1.2 宏/微雙驅(qū)動(dòng)微切削定位進(jìn)給系統(tǒng)研究現(xiàn)狀
        1.2.1 宏驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)研究現(xiàn)狀
        1.2.2 微驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)研究現(xiàn)狀
        1.2.3 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)研究現(xiàn)狀
        1.2.4 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)測(cè)量方式研究現(xiàn)狀
        1.2.5 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)控制技術(shù)研究現(xiàn)狀
    1.3 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)的發(fā)展方向
    1.4 論文主要研究?jī)?nèi)容
    1.5 論文結(jié)構(gòu)框架
    1.6 本章小結(jié)
第2章 宏/微雙驅(qū)動(dòng)微切削定位進(jìn)給系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)
    2.1 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)
    2.2 微驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)的方案設(shè)計(jì)
        2.2.1 微驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的布置方案
        2.2.2 壓電陶瓷的種類和特性分析
        2.2.3 柔性鉸鏈的種類和特性分析
    2.3 宏驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)的方案設(shè)計(jì)
        2.3.1 宏驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的布置方案
        2.3.2 直線電機(jī)的選型
    2.4 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)的控制方式
    2.5 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)的測(cè)量方式
    2.6 本章小結(jié)
第3章 微驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)研究
    3.1 微動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)拓?fù)鋬?yōu)化設(shè)計(jì)
    3.2 柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)拓?fù)鋬?yōu)化設(shè)計(jì)
    3.3 微驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給平臺(tái)位移輸出結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    3.4 微驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)有限元仿真分析
        3.4.1 模型建立
        3.4.2 靜態(tài)特性及應(yīng)力分析
        3.4.3 模態(tài)分析
    3.5 微驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)輸入和輸出性能分析
    3.6 本章小結(jié)
第4章 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)精度檢測(cè)與補(bǔ)償
    4.1 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)樣機(jī)搭建
    4.2 宏動(dòng)平臺(tái)的定位精度測(cè)量
        4.2.1 宏動(dòng)平臺(tái)X軸定位精度測(cè)量
        4.2.2 宏動(dòng)平臺(tái)Y軸定位精度測(cè)量
    4.3 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)精度檢測(cè)
    4.4 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)誤差分析與補(bǔ)償
        4.4.1 誤差來源分析
        4.4.2 誤差補(bǔ)償方法
        4.4.3 誤差補(bǔ)償模型建立
        4.4.4 BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)誤差補(bǔ)償模型仿真
    4.5 本章小結(jié)
第5章 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)建模與實(shí)驗(yàn)分析
    5.1 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)模型
    5.2 微驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)模態(tài)實(shí)驗(yàn)
    5.3 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)精度評(píng)定
        5.3.1 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)X軸精度評(píng)定
        5.3.2 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)Y軸精度評(píng)定
    5.4 本章小結(jié)
結(jié)論與展望
    結(jié)論
    展望
參考文獻(xiàn)
附錄
    附錄1 宏/微雙驅(qū)動(dòng)協(xié)調(diào)控制程序
    附錄2 宏/微雙驅(qū)動(dòng)定位進(jìn)給系統(tǒng)定位誤差數(shù)據(jù)
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文和研究成果
致謝


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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[5]連續(xù)體結(jié)構(gòu)拓?fù)鋬?yōu)化理論與應(yīng)用研究[D]. 左孔天.華中科技大學(xué) 2004
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碩士論文
[1]高速高精度宏微雙驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)[D]. 劉升.廣東工業(yè)大學(xué) 2015
[2]面向納米定位的跨尺度二維工作臺(tái)關(guān)鍵控制技術(shù)研究[D]. 袁鈺.合肥工業(yè)大學(xué) 2015
[3]機(jī)床誤差的動(dòng)態(tài)分析方法及其控制技術(shù)研究[D]. 翟江濤.重慶理工大學(xué) 2015
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[5]夾持半徑可調(diào)式仿生壓電旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)分析與試驗(yàn)研究[D]. 傅璐.吉林大學(xué) 2013
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[7]宏微雙驅(qū)動(dòng)高精度二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的實(shí)現(xiàn)[D]. 方菲.浙江大學(xué) 2012
[8]大行程宏微驅(qū)動(dòng)超精密進(jìn)給系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與研究[D]. 武宏璋.西安理工大學(xué) 2009
[9]基于Optistruct拓?fù)鋬?yōu)化的應(yīng)用研究[D]. 蘇勝偉.哈爾濱工程大學(xué) 2008
[10]高精度微定位器結(jié)構(gòu)與控制研究[D]. 熊本炎.西北工業(yè)大學(xué) 2005



本文編號(hào)：3015473