在航空航天、光學(xué)儀器和生物醫(yī)療等領(lǐng)域?qū)π枰芗庸さ年P(guān)鍵零件表面質(zhì)量要求越來越高。人工拋光方法加工周期長,效率低,超聲拋光方法對異形曲面拋光有一定的局限性,本課題提出了一種超聲復(fù)合磨料振動(dòng)拋光技術(shù),目的在于研究一種高質(zhì)量、高效率和低成本的加工方法。首先,分析了超聲復(fù)合磨料振動(dòng)拋光作用下的工件表面材料去除原理,得出工件受垂直于工件表面方向上的集中力與平均分布力作用下的位移與應(yīng)力表達(dá)式。其次,利用ADAMS軟件仿真了設(shè)備機(jī)械振動(dòng)部分的位移、速度和加速度曲線;利用ANSYS Workbench軟件對曲軸-連桿-活塞機(jī)構(gòu)進(jìn)行靜力學(xué)分析,對曲軸進(jìn)行模態(tài)分析,分析結(jié)果表明,所設(shè)計(jì)的機(jī)構(gòu)滿足設(shè)計(jì)要求。結(jié)合HyperWorks和ANSYS LS-DYNA軟件對拋光過程的材料去除機(jī)理進(jìn)行研究,建立了球形、圓錐形、楔形、正方體和多種磨�；旌闲偷挠邢拊Ｐ�,得出超聲振動(dòng)拋光與超聲復(fù)合磨料振動(dòng)拋光作用下不同形狀磨粒沖擊工件后的結(jié)構(gòu)變形與應(yīng)力變化,可以發(fā)現(xiàn),超聲復(fù)合拋光作用下工件表面拋光效率更高。通過正交試驗(yàn)分析超聲振動(dòng)拋光技術(shù)下超聲頻率、磨料濃度和拋光時(shí)間對工件表面粗糙度與工件表面材料去除量影響的顯著性,并采... 

【文章來源】：西安工業(yè)大學(xué)陜西省

【文章頁數(shù)】：102 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

拋光前后的工件邊緣表面

結(jié)果分析表明，采用該拋光技術(shù)后的硅片邊緣工件邊緣表面形貌圖如圖 1.1所示。(a) 拋光前 (b) 拋光后圖 1.1 拋光前后的工件邊緣表面[11]電化學(xué)拋光技術(shù)以 CeO2為拋光液的前提下拋結(jié)果表明，采用該技術(shù)拋光后的工件表面材料/h，0.23nm。

（a）拋光 5min 后的工件表面 （b）拋光 1h 后的工件表面圖 1.3 工件表面形貌圖[14]劉瑩[15]等人提出了一種振擺拋光技術(shù)，利用該拋光技術(shù)拋光鋁工件表面，通過發(fā)現(xiàn)，在磨料粒徑為 280 目時(shí)，加工前、后的工件表面粗糙度分別為 0.7μm。拋光前、后的工件表面形貌圖如圖 1.4所示。（a）拋光前 （b）拋光后

【參考文獻(xiàn)】：
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碩士論文
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本文編號(hào)：2997302