錸（Re）及其合金在高溫力學(xué)、抗蠕變性、耐磨、耐腐蝕等方面具有優(yōu)異的特性,被廣泛應(yīng)用于國防軍工、航空航天、電子行業(yè)以及石油化工等領(lǐng)域。在難熔金屬Re中加入金屬鈷（Co）形成鈷錸（Co-Re）合金,可以有效地提高Re的抗氧化能力,拓展Re涂層在高溫環(huán)境下的使用范圍,同時(shí)降低制備Re涂層的成本。在本論文的研究工作中,介紹了化學(xué)氣相沉積設(shè)備的設(shè)計(jì)原理和機(jī)械系統(tǒng)與控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案,討論了化學(xué)氣相沉積制備Co-Re合金涂層的熱力學(xué)問題,并采用自行設(shè)計(jì)的沉積設(shè)備,在鋼基體（0CrNi2MoVA型鋼材）表面制備了Co-Re合金涂層,最后對制備出的合金涂層進(jìn)行了相關(guān)性質(zhì)的測試。獲得主要結(jié)論如下:1、化學(xué)氣相沉積設(shè)備的設(shè)計(jì)包括機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)和控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)。機(jī)械系統(tǒng)包括升華室、反應(yīng)室、氣體運(yùn)輸系統(tǒng)、溫度系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)五個(gè)部分。以道爾頓分壓定律為基礎(chǔ),設(shè)計(jì)并計(jì)算出的升華室和反應(yīng)室尺寸分別為Ф50×200mm和Ф30×200mm�？刂葡到y(tǒng)包括溫控系統(tǒng)、氣體與流量控制系統(tǒng)以及安全系統(tǒng)。溫控系統(tǒng)采用感應(yīng)加熱和紅外輻射加熱的方式分別對升華室和反應(yīng)室進(jìn)行加熱,并通過儀器儀表對溫度進(jìn)行控制。流量和壓力通過減壓閥和質(zhì)子... 

【文章來源】：西南科技大學(xué)四川省

【文章頁數(shù)】：57 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
第一章 緒論
    1.1 課題研究背景及研究現(xiàn)狀
        1.1.1 研究背景
        1.1.2 研究現(xiàn)狀
    1.2 Co-Re合金的抗氧化性
    1.3 Co涂層的制備工藝
        1.3.1 化學(xué)鍍（Electroless plating）
        1.3.2 激光熔覆技術(shù)（Laser Cladding）
        1.3.3 電沉積（Electrodeposition）
        1.3.4 化學(xué)氣相沉積（CVD）
        1.3.5 Co涂層制備工藝的比較
    1.4 Re涂層的制備工藝
        1.4.1 電子束-物理氣相沉積（EB-PVD）
        1.4.2 熔鹽電沉積（ED）
        1.4.3 化學(xué)氣相沉積（CVD）
        1.4.4 Re涂層制備工藝比較
    1.5 課題研究的目的、主要內(nèi)容及創(chuàng)新點(diǎn)
        1.5.1 課題研究目的
        1.5.2 課題研究主要內(nèi)容
        1.5.3 課題研究創(chuàng)新點(diǎn)
第二章 實(shí)驗(yàn)研究方法
    2.1 實(shí)驗(yàn)原料
    2.2 實(shí)驗(yàn)設(shè)備
    2.3 實(shí)驗(yàn)方法
    2.4 分析測試
        2.4.1 顯微組織分析
        2.4.2 XRD圖譜分析
        2.4.3 涂層成分分析
第三章 化學(xué)氣相沉積設(shè)備的設(shè)計(jì)與制作
    3.1 化學(xué)氣相沉積設(shè)備的總體設(shè)計(jì)
    3.2 化學(xué)氣相沉積設(shè)備機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)
    3.3 化學(xué)氣相沉積設(shè)備控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)
        3.3.1 溫度控制
        3.3.2 流量與壓力控制
        3.3.3 安全控制
    3.4 升華室、反應(yīng)室尺寸設(shè)計(jì)
    3.5 化學(xué)氣相沉積設(shè)備的實(shí)現(xiàn)
    3.6 本章小結(jié)
第四章 化學(xué)氣相沉積制備Co-Re合金涂層的熱力學(xué)分析
    4.1 化學(xué)氣相沉積反應(yīng)的熱力學(xué)分析
        4.1.1 化學(xué)氣相沉積制備Co涂層的熱力學(xué)分析
        4.1.2 化學(xué)氣相沉積制備Re涂層的熱力學(xué)分析
    4.2 平衡反應(yīng)產(chǎn)物的熱力學(xué)分析
2-Co（acac）₂ 系統(tǒng)平衡反應(yīng)產(chǎn)物熱力學(xué)分析">        4.2.1 H₂-Co（acac）₂ 系統(tǒng)平衡反應(yīng)產(chǎn)物熱力學(xué)分析
2-Re₂（CO）₁₀系統(tǒng)平衡反應(yīng)產(chǎn)物熱力學(xué)分析">        4.2.2 H₂-Re₂（CO）₁₀系統(tǒng)平衡反應(yīng)產(chǎn)物熱力學(xué)分析
    4.3 Co、Re共沉積
    4.4 本章小結(jié)
第五章 化學(xué)氣相沉積Co-Re合金涂層的實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
    5.1 化學(xué)氣相沉積Co-Re合金的工藝參數(shù)分析
    5.2 氫氣流量對Co-Re合金表面形貌的影響
    5.3 化學(xué)氣相沉積Co-Re合金的微觀形貌分析
    5.4 化學(xué)氣相沉積Co-Re合金的成分分析
    5.5 化學(xué)氣相沉積Co-Re合金的XRD圖譜分析
    5.6 本章小結(jié)
第六章 結(jié)論
致謝
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間的研究成果


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]錸銥材料在高性能發(fā)動(dòng)機(jī)上的應(yīng)用[J]. 張緒虎,徐方濤,石剛,閆旭波,李海慶.  宇航材料工藝. 2016(01)
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博士論文
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碩士論文
[1]火炮身管內(nèi)膛幾何參數(shù)非接觸檢測系統(tǒng)設(shè)計(jì)[D]. 楊咪.中北大學(xué) 2017
[2]槍管壽命技術(shù)研究[D]. 石立雄.南京理工大學(xué) 2016
[3]錸的化學(xué)氣相沉積前驅(qū)體的合成探究[D]. 王薇.昆明理工大學(xué) 2013
[4]MOCVD設(shè)備氣體輸運(yùn)與加熱控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)[D]. 王晟.華中科技大學(xué) 2008
[5]CVD錸的工藝及性能研究[D]. 王海哲.國防科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2005



本文編號(hào)：2990952