發(fā)布時間：2021-01-05 11:01

　　燒結(jié)NdFeB磁體由于具備優(yōu)異的磁性能而被廣泛地應用于各個領域,但由于磁體本身耐腐蝕性較差,限制了其進一步的應用。因此在工業(yè)實際應用中往往需要對其進行表面涂層防護。本文采用直流磁控濺射方法在燒結(jié)NdFeB磁體表面沉積純Al膜,分別研究了本底真空度、沉積壓力、基體溫度、濺射功率密度和旋轉(zhuǎn)速度對Al膜結(jié)構(gòu)與性能的影響,具體研究內(nèi)容與結(jié)論如下:（1）不同工藝參數(shù)對Al膜形貌、厚度以及晶體取向的影響:隨著本底真空度升高,Al膜的厚度增加,致密度升高。隨著沉積壓力的升高,Al膜厚度增加,致密度降低�；w溫度和旋轉(zhuǎn)速度的的變化對膜層的厚度無明顯影響,但隨著溫度的升高,膜層表面致密度升高,而轉(zhuǎn)速越低膜層致密度越高。隨著濺射功率密度的增大,膜層的厚度基本呈線性增長,致密度先升高再降低。工藝參數(shù)對Al膜的晶體取向均無明顯的影響。（2）不同工藝參數(shù)對膜層耐蝕性的影響:磁控濺射Al膜層的耐腐蝕性能隨本底真空度的升高而增強。較低的沉積壓力制備的Al膜耐蝕性能最佳。在一定的溫度范圍內(nèi),適當提高基體溫度有助于增強膜層的耐蝕性能。濺射功率密度過高或者過低都對Al膜的耐蝕性能不利。樣品旋轉(zhuǎn)速度越低,Al膜耐蝕性越好。... 

【文章來源】：廈門大學福建省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：111 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．１?２０世紀永磁體材料的發(fā)展狀況［１］??Ｆｉｇ．?１．１?Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ?ｏｆ?ｐｅｒｍａｎｅｎｔ?ｍａｇｎｅｔｓ?ｉｎ?ｔｈｅ?２０ｔｈ?ｃｅｎｔｕｒｙ??

圖１．２燒結(jié)ＮｄＦｅＢ磁體顯微組織示總圖【９］??Ｆｉｇ．?１．２?Ｓｉｎｔｅｒｅｄ?ＮｄＦｅＢ?ｍａｇｎｅｔｉｃ?ｎｉｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ?ｄｉａｇｒａｍ??

圖１．３燒結(jié)ＮｄＦｅＢ磁體的腐蝕過程示意圖［１５］??Ｆｉ．１．３?Ｃｏｒｒｏｓｉｏｎｒｏｃｅｓｓ?ｄｉａｒａｍ?ｏｆ?ｓｉｎｔｅｒｅｄ?ＮｄＦｅＢ?ｍａｎｅｔｓ??

【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
[1]燒結(jié)NdFeB表面沉積Al/Ni薄膜及其耐腐蝕性研究[D]. 楊旖旎.華南理工大學 2016



本文編號：2958543