通過等離子體基離子注入（PBII）表面改性的方法,采用不同的負(fù)脈沖偏壓對(duì)Ti6Al4V合金進(jìn)行氮/氟離子注入,并研究了改性層的結(jié)構(gòu)、硬度以及摩擦磨損性能等。利用原子力顯微鏡研究了改性前后的表面粗糙度變化,并用X光電子能譜分析了改性層表面結(jié)構(gòu)和化學(xué)組成,還使用力學(xué)顯微探針分析試樣的硬度,并用球盤式摩擦磨損實(shí)驗(yàn)儀和掃描電鏡表征了摩擦磨損性能并觀察了磨痕形貌。測(cè)試結(jié)果表明:氮氟離子注入改性試樣粗糙度降低,并形成了由Ti O2,Ti F3,Ti F4和Ti N等組成的改性層;改性試樣的納米硬度值較未處理基體提高;氮氟離子注入試樣表現(xiàn)出更好的彈性回復(fù)行為;改性試樣摩擦系數(shù)和磨損體積均較基體下降,磨痕形貌從粘著磨損為主轉(zhuǎn)變?yōu)槟チＤp,耐磨性改善;注氟偏壓-20 k V的試樣獲得最理想的性能。 

【文章來源】：真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2016年11期 第1279-1285頁 北大核心

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)
    1.1 試樣制備
    1.2 離子注入實(shí)驗(yàn)
    1.3 分析與測(cè)試
2 結(jié)果與討論
    2.1 表面粗糙度和形貌
    2.2 化學(xué)結(jié)構(gòu)
    2.3 納米硬度
    2.4 摩擦磨損性能
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[3]真空退火對(duì)Ti6Al4V合金離子注氧層表面形貌和結(jié)構(gòu)的影響[J]. 李金龍,孫明仁,馬欣新.  材料熱處理學(xué)報(bào). 2011(S1)
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