【摘要】：本文對金剛石刀具刃口鈍圓半徑求解方法展開研究,以有效提升金剛石刀具刃口鋒利度的測量精度。文中分析了原子力顯微鏡(AFM)掃描探針幾何形貌對金剛石刀具刃口鋒利度測量結(jié)果的影響,并提出了基于切點(diǎn)約束和AFM探針針尖半徑補(bǔ)償?shù)牡毒呷锌阝g圓半徑求解方法;討論了消噪濾波、測量角度誤差以及切點(diǎn)分離方法對測量結(jié)果的影響;在高精度測量平臺上完成了金剛石刀具刃口鋒利度測量,并將被測量的刀具用于飛切加工KDP晶體。結(jié)果表明:提出的刃口鈍圓半徑求解方法能夠準(zhǔn)確求解金剛石刀具的刃口鋒利度,測量結(jié)果能很好地描述金剛石刀具的刃口鋒利程度,可以為金剛石超精密切削加工的選刀和用刀提供有效指導(dǎo)。

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