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電場增強(qiáng)的陰極弧放電TiCN薄膜結(jié)構(gòu)及性能研究

發(fā)布時(shí)間:2018-09-14 14:30
【摘要】:采用一種新型的電場增強(qiáng)陰極弧沉積技術(shù)在304不銹鋼表面制備了TiCN涂層。研究了附加電極電流對(duì)陰極弧放電特性、涂層相結(jié)構(gòu)、截面形貌、耐磨性以及結(jié)合力的影響。結(jié)果表明:附加電極的引入顯著增加真空室內(nèi)等離子體密度,工件偏流提高近100%;只有超過一定閾值,附加電極電流才能有效減小晶粒尺寸、提高膜層致密性,同時(shí)也提高膜基結(jié)合力。附加電極電流為30 A時(shí),膜基結(jié)合力達(dá)到HF1,相對(duì)于無附加電極情況樣品表面摩擦系數(shù)降低了33%,磨痕寬度最小,耐磨性最好?梢婋妶鲈鰪(qiáng)陰極弧放電是一種非常有效的TiCN制備方法。
[Abstract]:TiCN coatings were prepared on 304 stainless steel by a new electric field enhanced cathodic arc deposition technique. The effects of the additional electrode current on the discharge characteristics, phase structure, cross-section morphology, wear resistance and adhesion of the cathode arc were investigated. The results show that the additional electrode increases the plasma density in the vacuum chamber significantly, the bias current of the workpiece increases by nearly 100, and only when the additional electrode current exceeds a certain threshold, can the additional electrode current effectively reduce the grain size and improve the density of the film layer. At the same time, the adhesion of membrane was improved. When the additional electrode current is 30 A, the surface friction coefficient of the sample with HF1, is reduced by 33%, the wear scar width is the smallest and the wear resistance is the best compared with the sample without additional electrode. Visible electric field enhanced cathode arc discharge is a very effective preparation method for TiCN.
【作者單位】: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)先進(jìn)焊接與連接國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】:國家自然科學(xué)基金(51175118,U1330110)
【分類號(hào)】:TG174.4

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本文編號(hào):2242977

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