【摘要】：采用復(fù)合離子鍍技術(shù),在不同脈沖負(fù)偏壓幅值下于304不銹鋼表面制備TiCN薄膜,研究了負(fù)偏壓幅值對(duì)薄膜成分、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度、顯微硬度及摩擦磨損性能的影響。結(jié)果表明:隨著負(fù)偏壓幅值升高,鈦、碳與氮元素的原子比以及碳與鈦元素的原子比先增大后減小,薄膜表面的顆粒及針孔、凹坑等缺陷尺寸減小,數(shù)量減少,表面形貌得到改善;薄膜主要由TiCN相組成,隨著負(fù)偏壓幅值增大出現(xiàn)(111)晶面擇優(yōu)取向,且薄膜的顯微硬度先增大后減小,并在負(fù)偏壓幅值為300V時(shí)達(dá)到最大,為2 690HV;薄膜的摩擦磨損性能優(yōu)于基體的,隨著負(fù)偏壓幅值增加,薄膜的摩擦因數(shù)不斷降低,在負(fù)偏壓幅值為300V時(shí)約為0.355,此時(shí)薄膜的摩擦磨損性能最優(yōu)。
[Abstract]:TiCN thin films were prepared on 304 stainless steel by composite ion plating at different pulse negative bias amplitudes. The effects of negative bias amplitude on the composition, structure, surface roughness, microhardness and friction and wear properties of the films were studied. The atomic ratio increases first and then decreases, the size and number of defects such as particles, pinholes and pits on the surface of the film decrease, and the surface morphology is improved. The film is mainly composed of TiCN phase. With the increase of negative bias amplitude, the preferred orientation of (111) crystal surface appears, and the microhardness of the film increases first and then decreases, and reaches the maximum at the negative bias amplitude of 300V. The friction and wear properties of the film are better than those of the substrate. With the increase of the negative bias voltage, the friction coefficient of the film decreases continuously, and is about 0.355 when the negative bias voltage is 300V.
【作者單位】： 遼寧工程技術(shù)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;天津師范大學(xué)物理與材料科學(xué)學(xué)院;遼寧工程技術(shù)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：遼寧省教育廳科學(xué)技術(shù)研究項(xiàng)目(LJYL007)
【分類號(hào)】：TG174.4

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本文編號(hào)：2192702