本文選題：電弧離子鍍 + 薄膜��； 參考：《中國表面工程》2017年04期

【摘要】：電弧離子鍍所制備薄膜中的大顆粒缺陷是研究熱點之一,文中利用塵埃等離子體的理論,以Ti大顆粒為研究對象,對電弧離子鍍中大顆�？臻g傳輸過程中的受力進(jìn)行了分析,主要包括重力、離子拖曳力、熱泳力、電場力等4種類型,對其影響規(guī)律、作用大小以及綜合表現(xiàn)進(jìn)行了總結(jié),為有效避免大顆粒在薄膜表面的沉積概率提出了理論依據(jù)。通過對大顆粒傳輸過程中的空間受力的計算,發(fā)現(xiàn)大顆粒受到自身重力、熱泳力、電場力和離子拖曳力的綜合作用是影響其在薄膜表面數(shù)目變化的主要原因。
[Abstract]:The defect of large particles in the films prepared by arc ion plating is one of the hot topics. In this paper, based on the theory of dust plasma, the stress of large particles in arc ion plating during the process of spatial transport is analyzed by taking the large Ti particles as the object of study. It mainly includes four types: gravity, ionic drag force, thermal swimming force, electric field force, etc. The influence law, action size and comprehensive performance are summarized, which provides a theoretical basis for effectively avoiding the deposition probability of large particles on the surface of thin film. Through the calculation of the spatial force during the transport of large particles, it is found that the combined action of gravity, thermal swimming force, electric field force and ion drag force on the surface of large particles is the main reason that affects the number of particles on the surface of the film.
【作者單位】： 鄭州航空工業(yè)管理學(xué)院機電工程學(xué)院;哈爾濱工業(yè)大學(xué)先進(jìn)焊接與連接國家重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51401182) 航空科學(xué)基金(2016ZE55013) 河南省科技攻關(guān)計劃(172102210075)~~
【分類號】：TG174.4

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本文編號：2027079