本文選題：鋁合金反射鏡 + 化學機械拋光技術(shù)��； 參考：《納米技術(shù)與精密工程》2017年02期

【摘要】：基于化學機械拋光(CMP)技術(shù)的基本原理,選取合適的拋光液,研究了鋁合金反射鏡磁流變拋光過程中材料的去除機理,分析了磁流變平坦化加工的可行性,并通過單因素實驗確定了最優(yōu)參數(shù),最后研究了相應去除函數(shù)的穩(wěn)定性.實驗結(jié)果表明,鋁鏡經(jīng)磁流變拋光后獲得了較高的表面質(zhì)量,表面粗糙度達到Ra=5.593 nm,且去除了車削時產(chǎn)生的紋路;鋁鏡磁流變?nèi)コ瘮?shù)穩(wěn)定,去除效率較高.
[Abstract]:Based on the basic principle of chemical and mechanical polishing (CMP) technology, the removal mechanism of materials in the process of magneto-rheological polishing of aluminum alloy mirrors was studied, and the feasibility of magneto-rheological flattening process was analyzed. The optimal parameters are determined by single factor experiments, and the stability of the corresponding removal function is studied. The experimental results show that the surface quality of aluminum mirror is high after magneto-rheological polishing, the surface roughness is up to Ra=5.593 nm, and the ripple produced in turning is removed, and the removal function of magneto-rheological removal function is stable and the removal efficiency is higher.
【作者單位】： 國防科學技術(shù)大學機電工程與自動化學院;超精密加工技術(shù)湖南省重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51405503)
【分類號】：TG580.692

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本文編號：1988986