本文選題：單側(cè)超微孔 + 納米印壓　； 參考：《長春理工大學(xué)》2017年碩士論文

【摘要】：隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,大深徑比超微孔應(yīng)用越來越廣泛。目前,在國外大深徑比超微孔加工技術(shù)已經(jīng)達(dá)到很高水平。在國內(nèi),此技術(shù)也在不斷發(fā)展,但大深徑比的超微孔加工仍是個(gè)難題。本文提出一種單側(cè)超微孔成形方法,通過金剛石刀尖鈍圓的微尺度作用對硬基底效應(yīng)下的金屬薄片壓透成孔。這種方法加工的微孔可以應(yīng)用于超聲波測漏儀上,因此,研究單側(cè)超微孔加工方法具有十分重要的價(jià)值和意義。本文首先對材料的微觀滑移到宏觀斷裂進(jìn)行了理論研究,對金屬變形斷裂與聲發(fā)射信號之間的關(guān)系進(jìn)行理論分析。設(shè)計(jì)出載有聲發(fā)射傳感器、力傳感器和微視頻顯微鏡的多傳感器的金剛石納米印壓成孔裝置。根據(jù)試驗(yàn)需要,對各個(gè)傳感器的型號進(jìn)行選擇,并搭建載有多傳感器的試驗(yàn)平臺。然后,進(jìn)行金剛石納米印壓試驗(yàn)的試驗(yàn)方案設(shè)計(jì),通過大量的工藝對比試驗(yàn),確定壓頭壓入速率、壓頭停留時(shí)間和壓頭圓錐角度數(shù)對試驗(yàn)結(jié)果的影響規(guī)律;對不同硬度的材料分別進(jìn)行壓孔試驗(yàn),結(jié)合材料的屬性,研究金屬材料塑性對壓孔試驗(yàn)的影響規(guī)律;對壓孔過程中的壓頭傾斜量的計(jì)算和壓入過程中玻璃基底的彈性變形量進(jìn)行理論研究分析;總結(jié)出金剛石納米壓孔的最佳試驗(yàn)工藝參數(shù)。最后,通過大量試驗(yàn)結(jié)果對比分析,既驗(yàn)證了金剛石納米印壓成孔試驗(yàn)裝置的可行性,又獲得了金剛石納米印壓成孔的成形規(guī)律,為金剛石納米印壓成孔技術(shù)的進(jìn)一步研究奠定了基礎(chǔ)。
[Abstract]:With the development of science and technology, the application of large aspect ratio ultramicro hole is more and more extensive. At present, the processing technology of large depth to diameter ratio ultramicro hole has reached a very high level in foreign countries. In China, this technology is also developing, but the processing of ultrafine hole with large aspect ratio is still a difficult problem. In this paper, a method of forming a single side ultrafine hole is presented, in which the thin metal sheet under the hard substrate effect is compacted into holes by the microscale action of the blunt circle of diamond knife tip. This method can be used in ultrasonic leak detector. Therefore, it is of great value and significance to study the machining method of single side micro hole. In this paper, the relationship between metal deformation fracture and acoustic emission signal is analyzed theoretically. A multi-sensor diamond nano-impression hole forming device with acoustic emission sensors force sensors and micro-video microscopes was designed. According to the needs of the test, the model of each sensor is selected, and a multi-sensor test platform is built. Then, the experimental scheme of diamond nano-stamping test is designed. Through a large number of process contrast tests, the influence of indenter rate, head residence time and cone angle number on the test results is determined. The influence of metal material plasticity on the pore pressing test was studied by hole pressing test of different hardness materials, combined with the properties of the material. The calculation of head tilt during hole pressing and the elastic deformation of glass substrate during pressing are studied and analyzed theoretically, and the optimum experimental technological parameters of diamond nano-hole pressing are summarized. Finally, through the comparison and analysis of a large number of experimental results, the feasibility of the diamond nano-printing hole forming test device is verified, and the forming law of diamond nano-printing hole forming is obtained. It lays a foundation for the further study of diamond nano-lithography.
【學(xué)位授予單位】：長春理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號】：TG669

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號：1931302