本文選題：TaC + 涂層��； 參考：《陶瓷學(xué)報》2017年01期

【摘要】：TaC具有高的抗氧化、高硬度、高熔點(diǎn)、良好的耐化學(xué)腐蝕和熱沖擊性能等優(yōu)異的物理和化學(xué)性能,在刀具、磨具、軸承等工件上應(yīng)用十分廣泛。由于受基體的表面狀況、材料以及沉積工藝條件的影響,TaC涂層具有不同的表面形貌和擇優(yōu)取向。不同的基體表面狀況采用不同的沉積溫度是制備結(jié)合良好的TaC薄膜的關(guān)鍵。文章綜述了TaC涂層制備工藝、TaC薄膜的性能、以及在汽車零部件、金屬加工、航空航天等領(lǐng)域的應(yīng)用,展望了TaC涂層的應(yīng)用前景與發(fā)展趨勢。
[Abstract]:TaC has high oxidation resistance, high hardness, high melting point, good chemical corrosion resistance and thermal shock resistance and other physical and chemical properties, excellent in cutting tools, abrasives, bearing and other parts is widely used. Because the surface condition of the substrate, and the effect of material deposition conditions, TaC coatings with different surface morphology and preferred orientation. Different substrate surface state by different deposition temperature is key to the preparation of TaC films with good. This article reviews TaC coating preparation process, the properties of TaC thin films, as well as in auto parts, metal processing, aerospace and other fields of application, application prospect and development trend of TaC coating.

【作者單位】： 上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：校協(xié)同創(chuàng)新基金重點(diǎn)項目(10120K158004-XTCX2015-4)
【分類號】：TG174.4

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本文編號：1770851