電化學放電銑削加工工藝研究
發(fā)布時間:2018-04-16 09:05
本文選題:電化學放電加工 + 銑削加工。 參考:《南京航空航天大學》2017年碩士論文
【摘要】:絕緣脆硬材料由于具有絕緣性、耐磨損、耐腐蝕等優(yōu)良特性,在生命科學、半導體等行業(yè)發(fā)揮著重要作用。電化學放電加工(ECDM)作為一種加工脆硬材料的方法被越來越多的研究者所關注。本文采用鎢絲電極對高硼玻璃進行電化學放電銑削加工工藝研究,開展的主要研究工作和獲取的成果如下:(1)介紹了電化學放電加工機理和氫氣膜等效電路模型,搭建了銑削實驗平臺,完成了銑削加工軟件的編寫。(2)選擇合適的工具電極與加工液對高硼玻璃進行了微槽加工。采用直流電源通過正交實驗法研究了電壓、溶液濃度、進給速度對于微槽寬度的影響。采用脈沖電源研究了脈沖占空比對于微槽寬度的影響。(3)介紹了電化學放電銑削原理,在不同的電極重疊率、電壓、溶液濃度條件下進行平面銑削加工實驗,研究了各種工藝參數(shù)對于表面粗糙度的影響。(4)分析了電化學放電加工過程中存在的誤差及形成原因,進行銑削加工的補償試驗,提高了工件的加工精度。進行三維結構的銑削實驗,證明電化學放電銑削加工有潛力運用于實際生產(chǎn)中。
[Abstract]:Insulating brittle and hard materials play an important role in life science, semiconductor and other industries because of their excellent properties such as insulation, wear resistance and corrosion resistance.Electrochemical discharge Machining (ECDM) as a method of processing brittle hard materials has been paid more and more attention by researchers.The electrochemical discharge milling process of high boron glass with tungsten wire electrode is studied in this paper. The main research work and the obtained results are as follows: 1) the mechanism of electrochemical discharge machining and the equivalent circuit model of hydrogen film are introduced.The milling experiment platform was set up, and the milling software was compiled. (2) the suitable tool electrode and the machining fluid were selected to process the high boron glass microgrooves.The effects of voltage, solution concentration and feed speed on the width of the microgroove were studied by orthogonal experiment with DC power supply.The influence of pulse duty cycle on the width of microgroove is studied by using pulse power supply. The principle of electrochemical discharge milling is introduced. The experiments of planar milling are carried out under different electrode overlap rate, voltage and solution concentration.The influence of various process parameters on surface roughness is studied. The error and its formation in electrochemical discharge machining are analyzed, and the compensation test of milling is carried out to improve the machining accuracy of the workpiece.The experiments of 3D milling show that electrochemical discharge milling has the potential to be used in practical production.
【學位授予單位】:南京航空航天大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2017
【分類號】:TG662
【參考文獻】
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本文編號:1758200
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