發(fā)布時間：2018-04-10 23:35

  本文選題：同時測量 + 五自由度��； 參考：《中南大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版)》2017年10期

【摘要】：提出一種同時測量運動平臺五自由度誤差的方法。采用準直的激光光束作為基準,僅以角錐棱鏡作為誤差測量的敏感器件,由1個斜方棱鏡和聚焦透鏡并輔以光電位移傳感器組成測量系統(tǒng)。研究結(jié)果表明:直線運動平臺2個直線度誤差和3個角度誤差可同時測量,且測量頭無電纜連接;測量直線度誤差的分辨率小于0.1μm,角度誤差的分辨率小于1″;直線度和角度測量精度分別達到1μm和5″。測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,易于安裝和調(diào)節(jié),適用于運動平臺多自由度誤差精密測量。
[Abstract]:A method for simultaneous measurement of five degrees of freedom error of moving platform is presented.The collimated laser beam is used as the reference and only the corner prism is used as the sensitive device for error measurement. The measuring system is composed of an oblique prism and a focusing lens supplemented by a photoelectric displacement sensor.The results show that two straightness errors and three angle errors can be measured simultaneously, and the measurement head has no cable connection, the resolution of straightness error is less than 0.1 渭 m, the resolution of angle error is less than 1 ".The measurement accuracy of straightness and angle is 1 渭 m and 5 ", respectively.The measuring system is simple in structure, easy to install and adjust, and suitable for precision measurement of multi-degree of freedom error of moving platform.
【作者單位】： 中南大學(xué)機電工程學(xué)院高性能復(fù)雜制造國家重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51475479) 國家高新技術(shù)研究發(fā)展計劃(863計劃)項目(2012AA040406) 湖南省自然科學(xué)基金資助項目(14JJ2010) 浙江大學(xué)流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室開放基金資助項目(ZKF-201401)~~
【分類號】：TG80

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1 韓e，

本文編號：1733465