本文選題：離子注入　切入點(diǎn)：Inconel　出處：《中國表面工程》2017年03期

【摘要】：為提高Inconel 718零件的抗磨損性能,采用直線式高能離子注入機(jī)對Inconel 718材料進(jìn)行表面強(qiáng)化。利用X射線衍射儀、電子背散射衍射、X射線光電子譜、俄歇電子能譜等表征材料的組織結(jié)構(gòu)、相組成和元素濃度-深度分布,采用納米壓痕儀、摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)檢測材料的納米硬度和摩擦磨損性能。結(jié)果表明,不同離子注入工藝對Inconel 718抗磨損性能提升具有不同效果,(N+Ti)組合注入可提升基體抗磨損性能達(dá)2.5倍以上,納米硬度提升幅度達(dá)到36%。(N+Ti)組合注入工藝在Inconel 718表層形成非晶以及納米級Ti Nx析出相,隨注入深度增加,注入原子主要以間隙或置換形式存在于基體晶格中。
[Abstract]:In order to improve the wear - resisting property of the part , a linear high - energy ion implanter is used to strengthen the surface of the material . The nano - indentation instrument , electron back - scattering diffraction , X - ray photoelectron spectroscopy , Auger electron energy spectrum , etc . are used to characterize the microstructure , phase composition and concentration - depth distribution of the material . The results show that different ion implantation processes have different effects on the anti - wear performance .

【作者單位】： 北京機(jī)械工業(yè)自動(dòng)化研究所電氣物理設(shè)備與應(yīng)用工程中心;清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【分類號(hào)】：TG146.15;TG668

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本文編號(hào)：1720887