從工藝參數(shù)角度探討AZ系鎂合金表面磁控濺射單層鋁及氧化鋁膜的耐腐蝕和耐磨損性能
本文選題:鎂合金 切入點(diǎn):磁控濺射 出處:《材料導(dǎo)報(bào)》2017年01期 論文類(lèi)型:期刊論文
【摘要】:AZ系鎂合金在工業(yè)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景,但其耐腐蝕性能和耐磨損性能差阻礙了其發(fā)展。綠色環(huán)保的磁控濺射表面涂覆技術(shù)是防止鎂合金腐蝕和磨損的方法之一。簡(jiǎn)要地介紹了磁控濺射鍍膜技術(shù)的原理及特點(diǎn),評(píng)述了當(dāng)今磁控濺射的重要發(fā)展。結(jié)合近幾年的實(shí)驗(yàn)研究,回顧和總結(jié)了濺射沉積薄膜技術(shù)的發(fā)展歷程和應(yīng)用現(xiàn)狀,重點(diǎn)分析了濺射工藝參數(shù)對(duì)薄膜耐腐蝕和耐磨損性能的影響。最后,展望了磁控濺射技術(shù)未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)。
[Abstract]:AZ series magnesium alloys have a broad application prospect in the industrial field. But its poor corrosion resistance and wear resistance hinder its development. The green magnetron sputtering surface coating technology is one of the methods to prevent magnesium alloy from corrosion and wear. The principle and characteristics of magnetron sputtering coating technology are briefly introduced. The important development of magnetron sputtering is reviewed in this paper. Combined with the experimental research in recent years, the development and application of sputtering deposition thin film technology are reviewed and summarized. The influence of sputtering parameters on the corrosion resistance and wear resistance of the films was analyzed. Finally, the future development trend of magnetron sputtering technology was prospected.
【作者單位】: 重慶交通大學(xué)機(jī)電與車(chē)輛工程學(xué)院;重慶市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院;重慶交通大學(xué)土木工程學(xué)院;重慶大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;重慶國(guó)環(huán)環(huán)境監(jiān)測(cè)有限公司;
【基金】:重慶市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局科研計(jì)劃資助項(xiàng)目(CQZJKY2013001;CQZJKY2014017) 國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局科技計(jì)劃資助項(xiàng)目(2014QK263) 重慶市南川區(qū)科技計(jì)劃項(xiàng)目(CX201407) 重慶市基礎(chǔ)與前沿研究計(jì)劃項(xiàng)目(cstc2015jcyjBX0140) 重慶市重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)共性關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新專項(xiàng)(cstc2016zdcy50002)
【分類(lèi)號(hào)】:TG174.4
【參考文獻(xiàn)】
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【共引文獻(xiàn)】
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9 高正源;胡琳盛;劉浪;任毅;李輝君;;從工藝參數(shù)角度探討AZ系鎂合金表面磁控濺射單層鋁及氧化鋁膜的耐腐蝕和耐磨損性能[J];材料導(dǎo)報(bào);2017年01期
10 賈國(guó)斌;馮寅楠;賈英;;磁控濺射用難熔金屬靶材制作、應(yīng)用與發(fā)展[J];金屬功能材料;2016年06期
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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】
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1 R.K.Gupta;K.Mensah-Darkwa;D.Kumar;;Corrosion Protective Conversion Coatings on Magnesium Disks Using a Hydrothermal Technique[J];Journal of Materials Science & Technology;2014年01期
2 高正源;潘復(fù)生;;鎂合金表面功能涂層制備與界面表征技術(shù)的研究進(jìn)展[J];功能材料;2012年14期
3 高正源;潘復(fù)生;;AZ31鎂合金表面納米陶瓷涂層的組織與力學(xué)性能分析[J];重慶大學(xué)學(xué)報(bào);2012年07期
4 周升國(guó);王立平;薛群基;;磁控濺射Al靶功率對(duì)類(lèi)金剛石薄膜結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能的影響[J];摩擦學(xué)學(xué)報(bào);2011年03期
5 張佳;宗陽(yáng);袁廣銀;常建衛(wèi);付鵬懷;丁文江;;新型醫(yī)用Mg-Nd-Zn-Zr鎂合金在模擬體液中的降解行為[J];中國(guó)有色金屬學(xué)報(bào);2010年10期
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7 徐成俊;磁控濺射TiN及ZrN薄膜的特性研究[D];重慶大學(xué);2005年
8 劉昕;反應(yīng)磁控濺射制備(Ti,Al)N薄膜的研究[D];中南大學(xué);2004年
9 呂學(xué)超;金屬鈾表面Al、Al_2O_3和Al-Zn三種鍍層的防腐蝕性能研究[D];中國(guó)工程物理研究院北京研究生部;2003年
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3 王軍生;童洪輝;趙嘉學(xué);韓大凱;戴彬;;影響磁控濺射均勻性的因素[A];第十三屆全國(guó)等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年
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6 張龍;朱健;吳t,
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