本文關(guān)鍵詞：碳化硅零件氧化輔助拋光超精密加工的研究現(xiàn)狀

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【摘要】：通過等離子體氧化、熱氧化、電化學(xué)氧化在碳化硅基材上獲得軟質(zhì)氧化層,利用軟磨粒拋光實現(xiàn)氧化物的快速去除,有利于提高材料去除效率、提升加工表面質(zhì)量。研究發(fā)現(xiàn),通過等離子體氧化輔助拋光,表面粗糙度RMS和Ra分別達到0.626nm和0.480nm;通過熱氧化輔助拋光,表面粗糙度RMS和Ra分別達到0.920nm和0.726nm;在電化學(xué)氧化中,基于Deal-Grove模型計算得到的氧化速度為5.3nm/s,電化學(xué)氧化輔助拋光后的表面粗糙度RMS和Ra分別是4.428nm和3.453nm。氧化輔助拋光有助于燒結(jié)碳化硅加工工藝水平的提升,促進碳化硅零件在光學(xué)、陶瓷等領(lǐng)域的應(yīng)用。
【作者單位】： 解放軍理工大學(xué)野戰(zhàn)工程學(xué)院;
【基金】：國家重點研發(fā)計劃項目(2016YFC0802903) 國家自然科學(xué)基金(51505498) 江蘇省自然科學(xué)基金(BK20150714)
【分類號】：TG580.692
【正文快照】： 隨著空間技術(shù)的不斷發(fā)展,大口徑、輕量化、高精度反射鏡成為偵察監(jiān)視系統(tǒng)、激光雷達系統(tǒng)、大型天文望遠鏡的關(guān)鍵部件,空間應(yīng)用的特殊性對鏡面材料提出了嚴格的要求。燒結(jié)碳化硅(RS-SiC)由于具有機械硬度高、化學(xué)穩(wěn)定性強、尺寸穩(wěn)定性好、表面質(zhì)量高、比剛度大、熱變形系數(shù)小、

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中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉必柱;;對表面粗糙度有關(guān)參數(shù)的探討[J];機械工業(yè)標準化與質(zhì)量;2006年05期

2 陳普;;試析表面粗糙度對零部件的影響[J];福建質(zhì)量信息;2006年08期

3 劉鋒;;淺談表面粗糙度參數(shù)極值的確定[J];林業(yè)機械與木工設(shè)備;2007年06期

4 宋鐵福;;對表面粗糙度有關(guān)參數(shù)的探討[J];黑龍江科技信息;2008年29期

5 許桂珍;;表面粗糙度的形成及控制探討[J];職業(yè);2010年11期

6 趙永彪;苗雅麗;;表面粗糙度的測量分析[J];制造業(yè)自動化;2011年06期

7 王瓊禮;蘇聯(lián)制訂表面粗糙度新標準[J];機床與工具;1959年23期

8 金希武,李達成;社會主義國家“表面粗糙度”標準統(tǒng)一建議擬訂中的若干問題[J];清華大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);1964年01期

9 ;表面粗糙度標準發(fā)展概況介紹[J];航空標準化;1985年03期

10 ;表面粗糙度標準發(fā)展概況介紹[J];航空標準化;1985年S1期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 馬德巖;彭勝商;;表面粗糙度光學(xué)測試技術(shù)現(xiàn)狀及展望[A];第五屆全國摩擦學(xué)學(xué)術(shù)會議論文集（上冊）[C];1992年

2 張大舜;;機加零件表面粗糙度的數(shù)值模擬方法研究[A];第三屆十省區(qū)市機械工程學(xué)會科技論壇暨黑龍江省機械工程學(xué)會2007年年會論文（摘要）集[C];2007年

3 潘永強;杭凌俠;吳振森;王鵬;;離子轟擊對光學(xué)表面粗糙度的影響[A];中國真空學(xué)會2008年學(xué)術(shù)年會論文摘要集[C];2008年

4 伏德貴;龐英伯;袁道成;楊維川;;非接觸式激光表面粗糙度兼位移測量裝置[A];中國工程物理研究院科技年報（1999）[C];1999年

5 李振宗;;鑄造表面粗糙度及其測量方法的研討(摘要)[A];上海市老科學(xué)技術(shù)工作者協(xié)會一、二、三屆學(xué)術(shù)年會論文選集[C];2006年

6 韓進宏;張先峰;王運凱;;表面粗糙度數(shù)據(jù)采集與處理C++算法研究[A];2007'中國儀器儀表與測控技術(shù)交流大會論文集（二）[C];2007年

7 陳曙光;劉平;田保紅;;HPb61-2.5-0.5-0.2黃銅切削表面粗糙度的研究[A];第三屆中國熱處理活動周暨第六次全國熱處理生產(chǎn)技術(shù)改造會議論文專輯[C];2005年

8 吳越;張清東;劉軍;戴江波;;冷軋帶鋼表面粗糙度實測研究[A];中國金屬學(xué)會2003中國鋼鐵年會論文集（4）[C];2003年

9 韓進宏;張先峰;王運凱;;表面粗糙度頻譜分析C++算法設(shè)計[A];2007'中國儀器儀表與測控技術(shù)交流大會論文集（二）[C];2007年

10 張貴彥;袁宏韜;繆同群;;光學(xué)表面粗糙度的全積分測量法研究[A];上海市激光學(xué)會2005年學(xué)術(shù)年會論文集[C];2005年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 山西焦煤集團公司西曲礦 白栓柱;表面粗糙度形成原因及降低措施[N];山西科技報;2004年

2 劉友存 譯;奧鋼聯(lián)冷軋廠帶鋼表面粗糙度的在線測量[N];中國冶金報;2006年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 徐曉梅;反射式強度調(diào)制型光纖傳感孔內(nèi)表面粗糙度檢測技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

2 高昭;基于空間平均靜態(tài)及動態(tài)散斑法表面粗糙度測量技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2009年

3 單英春;EB-PVD Ni-Cr薄板沉積的多尺度模擬[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2006年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 宋建偉;預(yù)應(yīng)力淬硬磨削加工中預(yù)應(yīng)力對表面粗糙度影響機理分析[D];東北大學(xué);2014年

2 王文卓;基于數(shù)字圖像技術(shù)的鑄造表面粗糙度三維評價[D];哈爾濱理工大學(xué);2005年

3 盧男;鑄造表面粗糙度三維評價體系建立及檢測方法研究[D];哈爾濱理工大學(xué);2014年

4 劉睿誠;激光選區(qū)熔化成型零件表面粗糙度研究及在免組裝機構(gòu)中的應(yīng)用[D];華南理工大學(xué);2014年

5 陳晨;材料微觀參數(shù)及工況條件對高精度鋁合金矩形管內(nèi)表面粗糙度演化的影響探究[D];重慶大學(xué);2015年

6 李紅華;滑枕內(nèi)孔加工表面粗糙度光纖式測量技術(shù)研究[D];東北大學(xué);2009年

7 孟繁禹;外圓縱向磨削表面粗糙度的在線測量研究[D];吉林大學(xué);2004年

8 于昊;冷軋鋼板表面粗糙度測量技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2002年

9 石米娜;基于分形幾何的軸類零件表面粗糙度檢測[D];吉林大學(xué);2007年

10 陳果;基于斜射式散射法的曲表面粗糙度檢測原理及系統(tǒng)研究[D];南京航空航天大學(xué);2015年

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本文編號：1201506