本文關(guān)鍵詞：空間精密位移信號(hào)軟細(xì)分方法研究

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【摘要】：為了解決高精度數(shù)控裝備對(duì)位移傳感器高分辨力反饋的需求,本文提出通過對(duì)空域信號(hào)特征的分析,從時(shí)空變換理論模型的角度去研究位移測(cè)量問題;利用光柵周期性柵線作為等空間位置觸發(fā)位置采樣建立空間序列模型;通過對(duì)光柵莫爾條紋信號(hào)自適應(yīng)預(yù)測(cè)細(xì)分模型階數(shù)與系數(shù)估計(jì)算法完成光柵莫爾條紋信號(hào)細(xì)分。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明此方法可以實(shí)現(xiàn)光柵莫爾條紋400倍細(xì)分,細(xì)分精度優(yōu)于信號(hào)周期的±1%。此細(xì)分方法利用光柵刻劃精度,信號(hào)細(xì)分精度與光柵信號(hào)波形質(zhì)量無關(guān),在不增加硬件的條件下實(shí)現(xiàn)光柵莫爾條紋精密細(xì)分,具有重要實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。
【作者單位】： 重慶理工大學(xué)機(jī)械檢測(cè)技術(shù)與裝備教育部工程研究中心時(shí)柵傳感及先進(jìn)檢測(cè)技術(shù)重慶市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然基金(51435002;51305478) 重慶市基礎(chǔ)與前沿研究計(jì)劃項(xiàng)目(cstc2013jcyja70007) 重慶市教委科學(xué)技術(shù)研究項(xiàng)目(KJ1500905)資助
【分類號(hào)】：TG659;TP212
【正文快照】： 1引言光柵作為位移傳感器大量應(yīng)用于高精度加工機(jī)床、超大規(guī)模集成電路專用設(shè)備、高精度量儀等數(shù)字化精密裝備用做位置檢測(cè)反饋部件,光柵測(cè)量精度直接決定著裝備系統(tǒng)性能和穩(wěn)定性。目前精密位移測(cè)量領(lǐng)域90$以上采用的是光柵技術(shù),其測(cè)量基準(zhǔn)是兩光柵相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成的莫爾條紋,通

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1 裘建新;檀亮;鐘平;;莫爾條紋三維精細(xì)測(cè)量方法的研究與應(yīng)用[J];上海工程技術(shù)大學(xué)學(xué)報(bào);2007年01期

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本文編號(hào)：1191656