本文關(guān)鍵詞：銅基體表面CVD單晶金剛石微粉的制備

  更多相關(guān)文章： 金剛石微粉 熱絲化學(xué)氣相沉積法 表面預(yù)處理 形核密度

【摘要】：采用基體自形核法,研究了光滑銅基體表面超聲研磨預(yù)處理對(duì)基體表面CVD單晶金剛石微粉沉積的影響。研究結(jié)果表明:未經(jīng)超聲研磨預(yù)處理的光滑銅基體表面,單晶金剛石微粉形核密度極低;預(yù)處理時(shí)間不超過(guò)1 min時(shí),可以在光滑銅基體表面獲得形核密度較高又不會(huì)相互連接的單晶金剛石微粉;預(yù)處理時(shí)間超過(guò)2 min時(shí),形核密度過(guò)高,金剛石晶粒會(huì)相互連接,甚至生長(zhǎng)成膜。本實(shí)驗(yàn)沉積出的金剛石微粉純度高,非晶碳含量少,表面光滑,可以觀察到(111)和(100)面,具有立方 八面體構(gòu)型,符合高品級(jí)人造金剛石磨料的要求。
【作者單位】： 上海交通大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 金剛石微粉 熱絲化學(xué)氣相沉積法 表面預(yù)處理 形核密度
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(項(xiàng)目編號(hào)51275302)
【分類號(hào)】：TG731
【正文快照】： 二十世紀(jì)50年代美國(guó)通用電氣公司制造了高溫高壓靜電設(shè)備,制造了世界上首批工業(yè)用人造金剛石小晶體[1 2]。人造金剛石按其應(yīng)用領(lǐng)域和尺寸分為寶石級(jí)單晶金剛石(粒度尺寸≥1 mm)和磨料級(jí)顆粒金剛石(粒度尺寸1 mm),主要通過(guò)高溫高壓法(highpressure and high temperature,HPHT

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1061978