本文關(guān)鍵詞：PSⅡ金屬圓管內(nèi)表面改性中的多脈沖鞘層動(dòng)力學(xué)研究

  更多相關(guān)文章： 等離子體源離子注入 等離子體擴(kuò)散 內(nèi)表面改性 流體模型 模擬

【摘要】：通過(guò)低壓非穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散流體模型和鞘層碰撞流體模型數(shù)值模擬了等離子體源離子注入(PSII)金屬圓管內(nèi)表面改性過(guò)程中的多脈沖鞘層動(dòng)力學(xué)行為,研究了等離子體的擴(kuò)散行為和脈沖特性對(duì)離子注入過(guò)程的影響。模擬結(jié)果顯示,工作氣壓越低等離子體擴(kuò)散越迅速,0.1 Pa以下還會(huì)出現(xiàn)明顯的恢復(fù)過(guò)沖現(xiàn)象。脈沖的占空比較高時(shí),管內(nèi)壁附近的等離子體來(lái)不及恢復(fù)到初始狀態(tài),從而降低了注入離子流的峰值,但卻增大了注入離子流的平均值,平均注入離子流幾乎隨占空比線性增加。
【作者單位】： 遼寧工業(yè)大學(xué)理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 等離子體源離子注入 等離子體擴(kuò)散 內(nèi)表面改性 流體模型 模擬
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金青年基金項(xiàng)目(11504151) 遼寧省教育廳科學(xué)研究一般項(xiàng)目(2015233) 遼寧工業(yè)大學(xué)教師科研啟動(dòng)基金(201320)
【分類(lèi)號(hào)】：TG174.4
【正文快照】： LI Yi,JING Xiao-dan,FENG Li-qiang(College of Science,Liaoning University of Technology,Jinzhou 121001,China)等離子體源離子注入對(duì)于金屬材料表面的改性處理是十分有效的[1-4]。柵極增強(qiáng)等離子體源離子注入(grid enhanced plasma source ion implantation,GEPSII)技術(shù)，

本文編號(hào)：1033649