介紹了一種用于晶硅的智能化加工單元,包括沿著軌道滑動(dòng)的機(jī)械手,以及軌道兩側(cè)截?cái)鄼C(jī)、開方機(jī)、磨拋一體機(jī)和置物臺(tái),通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸線與控制終端相連接,機(jī)械手夾持晶硅依次至截?cái)鄼C(jī)進(jìn)行截?cái)嗖僮鳌㈤_方機(jī)進(jìn)行去邊皮開方、磨拋一體機(jī)進(jìn)行磨削拋光、完成后放置于置物臺(tái)上,實(shí)現(xiàn)晶硅的全自動(dòng)化轉(zhuǎn)運(yùn)加工。另對(duì)該方案關(guān)鍵技術(shù)和工藝路線做了重點(diǎn)說(shuō)明,以實(shí)現(xiàn)該生產(chǎn)單元的自動(dòng)化程度高、產(chǎn)能穩(wěn)定、可靠性更好的效果。

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【部分圖文】：

圖5截?cái)嗪蠊璋糍|(zhì)量簡(jiǎn)圖

切割質(zhì)量簡(jiǎn)圖如圖5所示。2）開方工序

圖6開方后硅棒質(zhì)量簡(jiǎn)圖

切割質(zhì)量簡(jiǎn)圖如圖6所示。3）磨削工序

圖1整體布局圖

綜合考慮各環(huán)節(jié)的加工效率匹配，截?cái)喹h(huán)節(jié)采用單刀單根棒料切割，每次切割一根棒子的一個(gè)端面，每刀切割時(shí)間在10分鐘以內(nèi)，與開方及磨倒的產(chǎn)能匹配做到1:2:3，即一臺(tái)截?cái)鄬?duì)應(yīng)兩臺(tái)開方和三臺(tái)磨倒，該最小單元的產(chǎn)能是0.25GW，以根據(jù)實(shí)際情況定期升級(jí)，增加機(jī)械手、截?cái)鄼C(jī)、開方機(jī)和磨拋一體....

圖2截?cái)鄼C(jī)布局圖

采用單線但刀口切割和簡(jiǎn)易版控制原理，即只有收放線及兩個(gè)切割導(dǎo)輪，結(jié)構(gòu)極其簡(jiǎn)單，穩(wěn)定性高。放線電機(jī)和收線電機(jī)分別采用速度和扭矩控制，中間的阻力慣量在設(shè)計(jì)時(shí)會(huì)充分考慮降低，這樣運(yùn)行精度會(huì)更高，如圖2所示。2）開方單元

本文編號(hào)：4006839