TFT-LCD玻璃基板制造過程中的幾點體會
發(fā)布時間:2024-04-23 21:09
TFT-LCD玻璃基板是顯示產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵上游材料。以中小世代溢流下拉法生產(chǎn)TFT-LCD玻璃基板為例,重點闡述了半成品生產(chǎn)的關(guān)鍵管控理念:質(zhì)量守恒、能量守恒、電量守恒以及成型穩(wěn)定的重要性,闡述了成品生產(chǎn)中基礎(chǔ)管理工作的重要性,潔凈管理和二次污染對質(zhì)量的影響。
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本文編號:3962760
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圖1顯示產(chǎn)業(yè)鏈
TFT-LCD玻璃基板(簡稱玻璃基板),處于產(chǎn)業(yè)鏈上游,用在面板的TFT和CF(彩膜)上,其產(chǎn)業(yè)鏈應用如圖1所示。2玻璃基板的制造流程
圖2中小世代溢流下拉法生產(chǎn)過程示意圖
目前玻璃基板的主流制造工藝有兩種,即浮法和溢流下拉法。以中小世代溢流下拉法生產(chǎn)玻璃基板的制造流程見圖2。如圖2所示,半成品生產(chǎn)主要決定了玻璃基板的理化性能和內(nèi)在指標(如翹曲、厚薄差、應力等),成品的加工生產(chǎn)主要決定了玻璃基板尺寸精度和板面質(zhì)量這些外在指標。做好玻璃基板,就是要管好....
圖3產(chǎn)線分區(qū)示意圖
成型工序要做到四個穩(wěn)定,即來料穩(wěn)定、節(jié)拍穩(wěn)定、功率穩(wěn)定、壓差穩(wěn)定。來料穩(wěn)定是指供料的流量和溫度要穩(wěn)定,它直接關(guān)系到厚度分布。節(jié)拍穩(wěn)定和功率穩(wěn)定牽涉到每一片玻璃的成型熱歷史,壓差穩(wěn)定事關(guān)成型和退火溫度、應力大小。而這些都關(guān)系到產(chǎn)品的關(guān)鍵指標,關(guān)系到產(chǎn)品的一致性問題。對于后續(xù)工序而言....
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