<正>極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需的高純度氣體有了新著落。"我們承擔的國家科技重大專項‘極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝’中的‘高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試’子項目,通過了國家重大專項項目組的現(xiàn)場測試與評審。相關產(chǎn)品已提交客戶使用,市場應用效果良好。" 6月11日,黎明化工研究設計院有限責任公司首席技術(shù)官牛學坤表示。

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