本文關(guān)鍵詞：超聲橢圓振動(dòng)—化學(xué)機(jī)械復(fù)合拋光硅片技術(shù)的基礎(chǔ)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《長(zhǎng)春理工大學(xué)》 2006年

ZnSe紅外窗口材料加工、鍍膜及性能研究

么艷平  

【摘要】：本文對(duì)ZnSe紅外窗口材料的化學(xué)機(jī)械拋光、拋光后性能、10.6μm增透膜的設(shè)計(jì)制備和鍍膜后的性能進(jìn)行分析。ZnSe是一種理想的紅外窗口材料，首先分析了ZnSe材料的力學(xué)光學(xué)性能，然后介紹了在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上所探索出了一套實(shí)用的、行之有效的整盤加工工藝，討論了影響拋光效率的因素以及加工過(guò)程對(duì)ZnSe材料的宏觀應(yīng)力的影響，并對(duì)加工后的ZnSe材料的工藝參數(shù)、表面質(zhì)量和透過(guò)率進(jìn)行測(cè)試，，證明我們所采用的化學(xué)機(jī)械加工法是很高效實(shí)用的光學(xué)加工法。最后設(shè)計(jì)了ZnSe材料為基底10.6μm紅外增透膜，分析膜料和蒸發(fā)源材料的選擇，以及對(duì)鍍膜后ZnSe零件的光學(xué)性能和牢固性等各項(xiàng)性能進(jìn)行測(cè)試，表明光學(xué)性能和牢固性皆優(yōu)。

【關(guān)鍵詞】：
【學(xué)位授予單位】：長(zhǎng)春理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2006
【分類號(hào)】：TB39
【目錄】：

摘要3-4

ABSTRACT4-5

目錄5-6

第一章 緒論6-12

§1.1 ZnSe是一種理想的窗口材料6-8

§1.2 化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的研究現(xiàn)狀8-10

§1.3 薄膜光學(xué)的研究現(xiàn)狀10-11

§1.4 本課題背景及研究目的11

§1.5 本文研究的主要內(nèi)容11-12

第二章 ZnSe晶體的性能和生長(zhǎng)技術(shù)12-19

§2.1 ZnSe晶體的力學(xué)和光學(xué)性能12-15

§2.2 ZnSe紅外窗口材料的制備技術(shù)研究進(jìn)展15-19

第三章 ZnSe晶體的冷加工工藝19-54

§3.1 ZnSe透鏡技術(shù)指標(biāo)19-21

§3.2 晶體缺陷的檢測(cè)21

§3.3 ZnSe晶體的定向和切割21-22

§3.4 ZnSe零件的定心磨邊22-23

§3.5 ZnSe零件的粗磨23-25

§3.6 ZnSe零件的拋光25-34

§3.7 加工對(duì)ZnSe零件的宏觀應(yīng)力的影響34-50

§3.8 加工后零件的性能測(cè)試50-54

第四章 ZnSe零件的鍍膜工54-74

§4.1 雙層增透膜的設(shè)計(jì)54-64

§4.2 光學(xué)薄膜材料和蒸發(fā)源材料的選擇64-67

§4.3 薄膜的制備工藝67-72

§4.4 鍍膜之后零件的性能測(cè)試72-74

結(jié)論74-75

致謝75-76

參考文獻(xiàn)76-78

長(zhǎng)春理工大學(xué)碩士學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明78

長(zhǎng)春理工大學(xué)學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書78

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