化學(xué)鍍銅過程混合電位本質(zhì)的研究
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現(xiàn)場測量了銅基和陶瓷基化學(xué)鍍銅過程混合電位-時間曲線(Emix-t),成功地檢測到了化學(xué)鍍誘發(fā)過程.考察了添加劑和絡(luò)合劑的濃度以及pH值對Emix-t曲線的影響,結(jié)合陰、陽極極化曲線及雙電層理論對各種影響因素進行了討論.新生銅活化的銅基化學(xué)鍍銅的誘發(fā)過程是一個緩慢激活過程,所對應(yīng)的Emix-t曲線是一個稍微傾斜的臺階,這不同于鈀活化的基體的誘發(fā)過程.通過對不同活化工藝的Emix-t曲線的比較,發(fā)現(xiàn)較高的活化溫度能明顯減少活化時間,而且還可加速誘發(fā)過程,從而提高化學(xué)沉積銅的速度.
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收稿日期 2003-07-10
修回日期 2003-08-29
網(wǎng)出版日期 2004-02-15
通訊作者: 林昌健 Email: cjlin@xmu.edu.cn
引用文本:
谷新;胡光輝;王周成;林昌健. 化學(xué)鍍銅過程混合電位本質(zhì)的研究[J]. 物理化學(xué)學(xué)報, 2004,20(02): 113-117.
Gu Xin;Hu Guang-Hui;Wang Zhou-Cheng;Lin Chang-Jian. In situ Investigation on the Behavior of Mixed Potential in Electroless Copper Plating[J]. Acta Phys. -Chim. Sin., 2004, 20(02): 113-117.
doi: 10.3866/PKU.WHXB20040201
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