激光晶體重量的精確測(cè)量是激光晶體生長(zhǎng)過程中的關(guān)鍵性環(huán)節(jié),激光晶體等徑控制通過測(cè)量晶體重量來間接計(jì)算直徑,利用晶體重量的變化率有效控制晶體生長(zhǎng)直徑。針對(duì)激光晶體生長(zhǎng)過程中的機(jī)械振動(dòng)、電機(jī)提拉和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)、電氣信號(hào)干擾、生長(zhǎng)爐溫度變化、氣體流動(dòng)以及激光晶體生長(zhǎng)固熔界面張力波動(dòng)等影響因素導(dǎo)致晶體重量測(cè)量不準(zhǔn)確的問題,對(duì)激光晶體稱重裝置進(jìn)行研究和設(shè)計(jì)。主要從稱重裝置機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、稱重電子單元設(shè)計(jì)等兩個(gè)方面對(duì)高精度稱重裝置進(jìn)行研究與設(shè)計(jì)。在稱重機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中,考慮稱重裝置對(duì)稱重過程穩(wěn)定性和精密性的要求,設(shè)計(jì)了一種基于上稱重提拉法的懸臂梁式秤架結(jié)構(gòu),通過受力分析驗(yàn)證了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的可行性,并對(duì)稱重結(jié)構(gòu)進(jìn)行有限元分析,驗(yàn)證了稱重機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的合理性。稱重電子單元實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理和人機(jī)交互。對(duì)稱重信號(hào)的測(cè)量過程中,采用具備三階溫度系數(shù)和非線性數(shù)字補(bǔ)償功能的前端信號(hào)處理電路,對(duì)稱重電橋輸出的微弱信號(hào)進(jìn)行放大、補(bǔ)償處理,校準(zhǔn)模擬輸出信號(hào);在軟件數(shù)據(jù)濾波處理上,設(shè)計(jì)了基于冒泡排序的中位值均值濾波算法,對(duì)重量數(shù)據(jù)進(jìn)行濾波處理,以克服干擾,保證稱重裝置的精確性與穩(wěn)定性;稱重裝置采用虛擬儀器的核心設(shè)計(jì)思想,設(shè)計(jì)了...

【文章頁數(shù)】：77 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
學(xué)位論文數(shù)據(jù)集
摘要
abstract
第一章 緒論
    1.1 選題背景與研究意義
    1.2 課題相關(guān)領(lǐng)域的研究現(xiàn)狀
        1.2.1 晶體生長(zhǎng)方法研究
        1.2.2 激光晶體生長(zhǎng)控制技術(shù)研究
        1.2.3 激光晶體稱重裝置研究
    1.3 論文主要研究?jī)?nèi)容及章節(jié)安排
    1.4 本章小結(jié)
第二章 稱重裝置總體方案設(shè)計(jì)
    2.1 稱重裝置總體設(shè)計(jì)要求
        2.1.1 激光晶體生長(zhǎng)工藝特點(diǎn)
        2.1.2 稱重裝置設(shè)計(jì)要求
    2.2 稱重裝置機(jī)械結(jié)構(gòu)方案設(shè)計(jì)
    2.3 稱重裝置電子系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)
    2.4 本章小結(jié)
第三章 稱重裝置機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    3.1 稱重裝置零部件設(shè)計(jì)
        3.1.1 稱重裝置整體結(jié)構(gòu)圖
        3.1.2 稱重裝置零件圖
    3.2 稱重裝置有限元分析
        3.2.1 稱重裝置有限元建模
        3.2.2 有限元網(wǎng)格的劃分
        3.2.3 有限元應(yīng)力應(yīng)變分析
        3.2.4 有限元模態(tài)分析
        3.2.5 有限元受力分析
    3.3 本章小結(jié)
第四章 稱重裝置電子系統(tǒng)設(shè)計(jì)
    4.1 稱重裝置電子系統(tǒng)硬件設(shè)計(jì)
        4.1.1 稱重電子系統(tǒng)硬件功能設(shè)計(jì)
        4.1.2 稱重傳感器選型
        4.1.3 前端信號(hào)處理單元
        4.1.4 A/D轉(zhuǎn)換單元
    4.2 稱重裝置電子系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)
        4.2.1 稱重電子系統(tǒng)軟件功能設(shè)計(jì)
        4.2.2 稱重電子系統(tǒng)軟件程序設(shè)計(jì)
        4.2.3 稱重電子系統(tǒng)人機(jī)界面設(shè)計(jì)
    4.3 本章小結(jié)
第五章 稱重裝置系統(tǒng)測(cè)試
    5.1 稱重裝置實(shí)驗(yàn)平臺(tái)
    5.2 稱重裝置檢測(cè)技術(shù)指標(biāo)
    5.3 稱重裝置實(shí)驗(yàn)測(cè)試與結(jié)果分析
        5.3.1 軟件濾波效果測(cè)試
        5.3.2 示值誤差檢定
        5.3.3 重復(fù)性檢定
    5.4 稱重裝置實(shí)際應(yīng)用
    5.5 本章小結(jié)
第六章 結(jié)論與展望
    6.1 結(jié)論
    6.2 展望
參考文獻(xiàn)
致謝
研究成果及發(fā)表的學(xué)術(shù)論文
作者及導(dǎo)師簡(jiǎn)介



本文編號(hào)：3810528