石墨烯具有的優(yōu)異物理和化學(xué)性質(zhì)使其自被發(fā)現(xiàn)以來(lái)就獲得產(chǎn)學(xué)研界的廣泛關(guān)注與研究。目前制備石墨烯的方法眾多,在這眾多制備石墨烯的工藝方法中,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）脫穎而出,它具有制備溫度低,速度快的特點(diǎn),能夠更靈活的選擇襯底材料�；赑ECVD技術(shù)在非催化襯底上制備石墨烯已經(jīng)成為一個(gè)重點(diǎn)研究方向。氮化鎵（GaN）作為第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料,由于其優(yōu)異的光電性能及穩(wěn)定性,使其在高頻高功率電力電子器件和5G通訊等方面具有廣闊的應(yīng)用前景。GaN同質(zhì)襯底的缺乏使得GaN的制備依舊依靠藍(lán)寶石（Al2O3）、硅（Si）和碳化硅（SiC）等異質(zhì)外延材料,異質(zhì)外延不可避免會(huì)帶來(lái)晶格失配和熱失配影響晶體質(zhì)量,進(jìn)一步影響GaN器件的性能。石墨烯由于層間是范德華作用,石墨烯上外延GaN不僅能消除晶格失配的影響,提升薄膜的晶體質(zhì)量,還能允許薄膜從石墨烯上剝離并容易轉(zhuǎn)移到其它襯底。因此,在基于PECVD制備的石墨烯上外延GaN具有重要意義。本論文針對(duì)在Al2O3襯底上使用PECVD制備石墨烯,并通過(guò)磁控濺射在石墨烯上制備氮化鋁（AlN）緩沖層以及使用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）進(jìn)一步制備Ga... 

【文章來(lái)源】：蘇州大學(xué)江蘇省

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【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１４１??石墨烯在電學(xué)、熱學(xué)、力學(xué)，光學(xué)方面的優(yōu)異特性得益于其獨(dú)特的晶體結(jié)構(gòu)，石??

石墨烯的制備及其外延ＧａＮ的研宄?第－－章??高的載流子遷移率，是目前己知材料中載流子遷移率最高的材料，在特定條件下，載??流子遷移率理論上可達(dá)到２５００００ｃｍ２／（Ｖ＿ｓ）［５］，是硅材料的１０ＣＭ０００倍。石墨烯的電??阻率很低，大概為ｌ〇－６ｔ＞ｃｍ，是目前存在的所有物質(zhì)中在室溫時(shí)電阻率最低的材料??［６】。此外，兩個(gè)石墨烯層相對(duì)于彼此扭曲一定角度（１．１°），由于強(qiáng)的層間耦合，接近??零費(fèi)米能量的電子能帶結(jié)構(gòu)變得平坦，通過(guò)電可調(diào)諧性獲得平坦帶，通過(guò)扭轉(zhuǎn)角實(shí)現(xiàn)??帶寬可調(diào)諧性，可為更奇特的相關(guān)系統(tǒng)鋪平道路，例如非常規(guī)的超導(dǎo)體和量子自旋液??體［７］〇??（ａ）?－Ｉ??（ｂ）??圖１－２石墨烯的能帶結(jié)構(gòu)ＰＩ??２．光學(xué)性質(zhì)??石墨烯由于其獨(dú)特的能帶結(jié)構(gòu)，具有非常高的光學(xué)透過(guò)率，單層石墨烯可見(jiàn)光透??過(guò)率達(dá)到９７．７％［９】。在層數(shù)較少的情況下，可以利用石墨烯的光學(xué)透過(guò)率并結(jié)合石墨??烯每層２．３％的吸收率計(jì)算其層數(shù)。鑒于石墨烯優(yōu)異的電學(xué)和光學(xué)性質(zhì)，可以將石墨??烯用作透明電極，在很大程度上可以取代傳統(tǒng)氧化銦錫（ＩＴＯ）材料。同時(shí)，石墨烯??具有類(lèi)金屬的性質(zhì)，可以用于超表面結(jié)構(gòu)中，利用等離子基元實(shí)現(xiàn)光調(diào)制功能。也可??以通過(guò)外加電場(chǎng)調(diào)節(jié)石墨烯的費(fèi)米能級(jí)，改變折射率，從而改變響應(yīng)波長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)光開(kāi)??關(guān)和光調(diào)制器的功能。目前，基于石墨烯響應(yīng)的可調(diào)寬波段光學(xué)調(diào)制器己經(jīng)有相關(guān)研??宄［１０］〇??３??

第一章?石墨烯的制備及其外延ＧａＮ的研究??０?２５?５０??ｄｉｓｔａｎｃｅ?〇ｉｍ）??圖１－３⑷單層與雙層石墨嫌的光學(xué)透過(guò)率測(cè)試圖ｌ１１丨；（ｂ）２８５ｎｍ厚Ｓｉ０２?（Ｓｉ０２／Ｓｉ）上一??層，二層，三層和四層石墨烯的光學(xué)圖像Ａ??３．熱學(xué)性質(zhì)??石墨烯具有十分優(yōu)異熱傳導(dǎo)性能，在熱能傳輸中損耗小，單層無(wú)缺陷的石墨烯的??導(dǎo)熱系數(shù)達(dá)到５３００?Ｗ／ｍＫ，是目前報(bào)道的熱導(dǎo)系數(shù)最高的碳材料［１３］。其數(shù)值遠(yuǎn)高于??目前導(dǎo)熱系數(shù)高的銅、鋁和金等金屬。所以石墨烯可以作為一種導(dǎo)熱材料，改善大功??率器件的散熱問(wèn)題，增加器件的使用壽命。??４？力學(xué)性質(zhì)??石墨烯具有超高的強(qiáng)度，楊氏模量可達(dá)ｌ．ＯＴＰａ，固有的拉伸強(qiáng)度為１３０ＧＰａ，彈??性剛度約為３３５?Ｎ／ｍ２，是目前己知材料中硬度最高的材料［１４］。石墨烯優(yōu)異的力學(xué)性??能使得擁有廣闊的應(yīng)用前景，如壓力傳感器、諧振器等。也可以用于復(fù)合材料中，優(yōu)??異的機(jī)械性能、質(zhì)量小和可彎曲度使其具有用于航空航天領(lǐng)域潛力。此外，石墨烯具??有超疏水性和超親油性，結(jié)合結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以用作水的凈化和環(huán)境保護(hù)。??鑒于石墨烯優(yōu)異的電、光、熱、力性能，使其從眾多材料中脫穎而出，吸引著廣??大的科研人員和產(chǎn)業(yè)界的人士對(duì)其進(jìn)行探索、研究。??４??

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]Ultrafast epitaxial growth of metre-sized single-crystal graphene on industrial Cu foil[J]. Xiaozhi Xu,Zhihong Zhang,Jichen Dong,Ding Yi,Jingjing Niu,Muhong Wu,Li Lin,Rongkang Yin,Mingqiang Li,Jingyuan Zhou,Shaoxin Wang,Junliang Sun,Xiaojie Duan,Peng Gao,Ying Jiang,Xiaosong Wu,Hailin Peng,Rodney S. Ruoff,Zhongfan Liu,Dapeng Yu,Enge Wang,Feng Ding,Kaihui Liu.  Science Bulletin. 2017(15)
[2]石墨烯的化學(xué)氣相沉積生長(zhǎng)與過(guò)程工程學(xué)研究[J]. 鄒志宇,戴博雅,劉忠范.  中國(guó)科學(xué):化學(xué). 2013(01)



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