本文選題：微細(xì)加工 + 電解電火花銑削��； 參考：《組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù)》2017年11期

【摘要】：為滿足石英玻璃等非導(dǎo)電硬脆材料微結(jié)構(gòu)的加工需求,對(duì)微細(xì)電解電火花銑削加工工藝進(jìn)行了深入的試驗(yàn)研究,在玻璃工件上進(jìn)行了一系列微細(xì)電解電火花銑削加工工藝試驗(yàn)。首先,基于電解電火花加工的原理搭建了微細(xì)電解電火花銑削試驗(yàn)平臺(tái);其次,通過對(duì)比試驗(yàn),研究了加工電壓、脈沖頻率、占空比和進(jìn)給速度等工藝參數(shù)對(duì)銑削槽寬的影響,并通過優(yōu)化工藝參數(shù)加工出微槽陣列;最后,成功加工出多個(gè)玻璃微結(jié)構(gòu)包括二維微流道和三維微結(jié)構(gòu),試驗(yàn)結(jié)果表明微細(xì)電解電火花銑削工藝在加工非導(dǎo)電硬脆材料微結(jié)構(gòu)方面具有很大潛力。
[Abstract]:In order to meet the requirement of micro-structure machining of non-conductive hard brittle materials such as quartz glass, a series of micro-electrolytic EDM milling experiments were carried out on glass workpiece. Firstly, based on the principle of electrolysis EDM, a micro-electrolysis EDM milling test platform is built. Secondly, the effects of processing parameters, such as machining voltage, pulse frequency, duty cycle and feed speed, on the width of milling slot are studied. The microgroove array is fabricated by optimizing the process parameters. Finally, several glass microstructures including two dimensional microchannels and three dimensional microstructures are successfully fabricated. The experimental results show that the micro-electrolysis EDM process has great potential in machining the microstructure of non-conductive hard brittle materials.
【作者單位】： 山東大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院高效潔凈機(jī)械制造教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;山東大學(xué)力學(xué)與機(jī)電裝備聯(lián)合工程技術(shù)研究中心;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51305238) 中國(guó)博士后基金項(xiàng)目(2015M572023) 山東大學(xué)(威海)青年學(xué)者未來計(jì)劃資助項(xiàng)目(2015WHWLJH03)
【分類號(hào)】：TQ171.68

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本文編號(hào)：1826463