本文選題：微電子機(jī)械系統(tǒng)　切入點(diǎn)：濕法腐蝕　出處：《中國慣性技術(shù)學(xué)報(bào)》2017年02期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：對(duì)Z切石英在氟化氫銨溶液中的腐蝕特性進(jìn)行了研究。首先研究了Z向腐蝕速率隨腐蝕溫度和腐蝕液濃度的變化關(guān)系,然后研究了Z向表面腐蝕粗糙度隨腐蝕深度、腐蝕液體濃度、腐蝕溫度的變化規(guī)律,最后將石英在氟化氫銨溶液中的腐蝕特性跟在BHF溶液中的腐蝕特性進(jìn)行了簡單對(duì)比。試驗(yàn)結(jié)果表明:腐蝕速率隨腐蝕溫度和腐蝕液濃度增加而增加;Z向腐蝕表面粗糙度隨腐蝕時(shí)間的增加而增加;提高腐蝕液體濃度有利于減小腐蝕表面粗糙度;提高腐蝕液體溫度有利于減小表面粗糙度;石英在氟化氫銨溶液腐蝕具有更高的腐蝕效率和更小的腐蝕表面粗糙度。本研究結(jié)果能夠?yàn)槭EMS器件的設(shè)計(jì)和工藝提供有益幫助。
[Abstract]:The corrosion characteristics of Z cut quartz in ammonium hydrofluoride solution were studied. Firstly, the relationship between Z direction corrosion rate and corrosion temperature and concentration of corrosion solution was studied, and then the corrosion roughness of Z direction surface with corrosion depth was studied. The variation of corrosion liquid concentration and corrosion temperature, Finally, the corrosion characteristics of quartz in ammonium bicarbonate solution are compared with those in BHF solution. The experimental results show that the corrosion rate increases with the increase of corrosion temperature and concentration of corrosion solution. The roughness increases with the increase of corrosion time. Increasing the concentration of corrosion liquid can reduce the roughness of corrosion surface and increase the temperature of corrosion liquid to reduce the surface roughness. Quartz corrosion in ammonium bicarbonate solution has higher corrosion efficiency and smaller corrosion surface roughness. The results of this study can provide useful help for the design and process of quartz MEMS devices.
【作者單位】： 中國工程物理研究院電子工程研究所;
【基金】：中國工程物理研究院超精密實(shí)驗(yàn)室自主面上基金(ZZ16003)
【分類號(hào)】：TB304;TQ127.2

【參考文獻(xiàn)】

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