本文關(guān)鍵詞：熔融石英坩堝在燒結(jié)和鑄錠過(guò)程中的結(jié)構(gòu)及性質(zhì)

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【摘要】：通過(guò)X射線衍射測(cè)試、薄片觀察、SEM形貌分析、顯氣孔率和體積密度測(cè)量等方法,對(duì)熔融石英坩堝在燒結(jié)和鑄錠過(guò)程中的物相、結(jié)構(gòu)和性質(zhì)變化進(jìn)行了表征;為提高坩堝的強(qiáng)度和致密性,分別進(jìn)行了燒結(jié)實(shí)驗(yàn)和硅溶膠浸漬實(shí)驗(yàn)。在本實(shí)驗(yàn)條件下,α-方石英的(101)衍射峰強(qiáng)度與坩堝結(jié)晶度呈線性相關(guān)(相關(guān)系數(shù)r=0.9999),可應(yīng)用于坩堝結(jié)晶度的檢測(cè);保溫時(shí)間為6 h時(shí),坩堝燒結(jié)的上限溫度為1170℃,此時(shí)其結(jié)晶度為0.6%;比較了不同的硅溶膠浸漬方式對(duì)于坩堝致密度的影響,其中真空浸漬效果較明顯,使得坩堝的顯氣孔率下降13%,體積密度上升7%。
【作者單位】： 北京大學(xué)地球與空間科學(xué)學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 熔融石英坩堝 燒結(jié)溫度 相變 α-方石英 結(jié)構(gòu)
【分類(lèi)號(hào)】：TQ174.1
【正文快照】： (Received 15 December 2015,accepted 11 January 2016)1引言熔融石英坩堝是多晶硅鑄錠過(guò)程中的重要生產(chǎn)工具,國(guó)內(nèi)外學(xué)者對(duì)其制備過(guò)程有著大量的研究成果,如不同的保溫時(shí)間[1]、成型方法[2]、添加劑[3,4],顆粒級(jí)配[5]等生產(chǎn)要素對(duì)于坩堝燒結(jié)(生產(chǎn))后性質(zhì)的影響,其目的主要在

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1106009