無束流條件下鉬柵極電擊穿特性的試驗(yàn)研究
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【部分圖文】:
圖1 高壓真空擊穿裝置示意圖
試驗(yàn)用的高壓真空擊穿裝置如圖1所示。將兩片鉬柵極安裝在柵極安裝環(huán)上。然后,將整個裝置安裝在真空室中。將兩片柵極分別接在直流高壓電源上,并外接測試設(shè)備。高壓電源使用20kV直流電源,為了保護(hù)高壓電源,將最大擊穿電流閾值設(shè)為200mA。逐漸增大外加電壓,兩柵之間會逐漸出現(xiàn)預(yù)擊穿電....
圖2 高真空下?lián)舸╇妷弘S壓力的變化
可以看出,柵間距為0.7mm時(shí),柵極間的擊穿電壓、擊穿電場都隨著真空度的降低而緩慢減小。這是因?yàn)殡S著壓力升高,少量氣體分子逐漸出現(xiàn)在兩柵之間,部分氣體分子被電離,從而進(jìn)一步增強(qiáng)了兩柵之間的場致發(fā)射效應(yīng),使得擊穿電壓、擊穿電場逐漸減小。柵間距為0.4mm時(shí),擊穿電壓和擊穿電場會....
圖3 高真空下?lián)舸╇妶鲭S壓力的變化
圖2高真空下?lián)舸╇妷弘S壓力的變化柵間距為0.7mm和0.4mm兩組試驗(yàn)之前,柵極表面狀況如圖4、圖5所示?梢钥闯觯?yàn)闁砰g距為0.4mm的一系列試驗(yàn)是在0.7mm試驗(yàn)之后進(jìn)行的,柵極的表面狀況發(fā)生了明顯的惡化。由此表明,當(dāng)柵極表面有損傷時(shí),給柵極之間通入氣體,氣體分子....
圖4 進(jìn)行0.7 mm柵間距試驗(yàn)前柵極的表面狀況
根據(jù)Staprans[18]和Kohl[5]關(guān)于難熔金屬電極擊穿電壓與電極間距的經(jīng)驗(yàn)公式U=kdx,可以計(jì)算出此柵極在無束流狀態(tài)下、高真空時(shí)的系數(shù)。當(dāng)壓力為1×10-5Pa數(shù)量級時(shí),其擊穿電壓符合經(jīng)驗(yàn)公式U=2936d-0.059V。由此可以估算本柵極在相似狀態(tài)下,不同柵間距時(shí)....
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