環(huán)境激勵下的場地振動衰減規(guī)律試驗(yàn)研究
【文章頁數(shù)】:92 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【部分圖文】:
圖1-1振源和傳播路徑Fig.1-1Vibrationsourceandpropagationpath上述的幾種類型的振源對精密儀器的干擾具有不同的擾動頻率
先要考慮的就是建筑所在場地的振源特性及場地振動衰減情測的方法確定場地的情況,而針對包含不同頻段范圍,不同土中的傳播規(guī)律往往也是不一樣的。工業(yè)廠房中常見的人工移動隨機(jī)振源以及具有固定振動頻率的動力設(shè)備基礎(chǔ)為代表和動力設(shè)備基礎(chǔ)引起的振動特性及在地基土中的傳播規(guī)律要意義。的危害動對精密....
圖1-2AEST光刻機(jī)的環(huán)境振動控制值
的精密儀器設(shè)備制定了不同的允許振動限制,振動會使精密機(jī)床的加工精度下降,降低良具,機(jī)械部位的損壞。設(shè)備的振動情況進(jìn)行評價,研究者們將容許振生產(chǎn)商根據(jù)自身設(shè)備所具備的防微振性能及振且其所選用的物理量可能是位移、速度或者加控制要求也有進(jìn)一步加強(qiáng)的趨勢。,在IC的生產(chǎn)和檢測設(shè)備中,....
圖1-3ASML的光刻機(jī)環(huán)境振動控制值
圖1-3ASML的光刻機(jī)環(huán)境振動控制值Fig.1-3AmbientvibrationcontrolvalueofASMLlithographymachine可見,如果沒有具體的表述微振動的物理量指標(biāo),會對測試以及設(shè)計(jì)工作帶來麻煩和困擾,如果針對某種類型的廠房可以提....
圖1-4精密設(shè)備通用振動標(biāo)準(zhǔn)(VC)曲線
圖1-4精密設(shè)備通用振動標(biāo)準(zhǔn)(VC)曲線Fig.1-4Generalequipmentvibrationstandard(VC)1-2精密設(shè)備通用振動標(biāo)準(zhǔn)(VC)曲線應(yīng)用范圍ble1-2Precisionequipmentgeneralvibratio....
本文編號:4025545
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