本文關(guān)鍵詞：超大數(shù)值孔徑光刻機投影物鏡波像差檢測方法

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【摘要】：提出了一種基于空間像主成分分析的超大數(shù)值孔徑光刻機投影物鏡波像差檢測方法。通過采用偏振光照明和矢量光刻成像模型并考慮投影物鏡的偏振像差,準(zhǔn)確表征了超大數(shù)值孔徑光刻機的空間像,從而提高了像差檢測模型的精度,實現(xiàn)了超大數(shù)值孔徑光刻機投影物鏡33項澤尼克像差(Z5~Z37)的高精度檢測。相比于原基于空間像主成分分析的投影物鏡成像差檢測技術(shù)(AMAI-PCA)方法,所提方法適用于超大數(shù)值孔徑光刻機投影物鏡波像差檢測。采用光刻仿真軟件PROLITH對所提方法的檢測精度進行了仿真驗證,并分析了空間像采樣間隔對波像差檢測精度的影響。仿真結(jié)果表明,該方法對澤尼克像差(Z5~Z37)的檢測精度優(yōu)于0.85×10-3λ。
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);上海微電子裝備有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 測量 光刻 波像差檢測 超大數(shù)值孔徑 空間像 主成分分析
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61205102,61275207,61405210,61474129)
【分類號】：TN305.7
【正文快照】： 1引言光刻機是極大規(guī)模集成電路制造的核心設(shè)備之一。投影物鏡是光刻機最重要的分系統(tǒng)之一。投影物鏡的波像差影響光刻機的成像質(zhì)量,造成成像對比度降低,工藝窗口縮小[1-3]。國際上多家光刻機研發(fā)單位開發(fā)了各自的投影物鏡波像差檢測技術(shù)[4-14],根據(jù)測量對象的不同這些技術(shù)可

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本文編號：950522