本文關(guān)鍵詞：高探測(cè)效率CMOS單光子雪崩二極管器件

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【摘要】：基于標(biāo)準(zhǔn)0.35μm CMOS工藝設(shè)計(jì)了一種單光子雪崩二極管器件.采用p+n阱型二極管結(jié)構(gòu),同時(shí)引進(jìn)保護(hù)環(huán)與深n阱結(jié)構(gòu)以提高單光子雪崩二極管性能;研究了擴(kuò)散n阱保護(hù)環(huán)寬度對(duì)雪崩擊穿特性的影響;對(duì)器件的電場(chǎng)分布、擊穿特性、光子探測(cè)效率、頻率響應(yīng)等特性進(jìn)行了分析.仿真結(jié)果表明:所設(shè)計(jì)的單光子雪崩二極管器件結(jié)構(gòu)直徑為10μm,擴(kuò)散n阱保護(hù)環(huán)寬度為1μm時(shí),雪崩擊穿電壓為13.2 V,3 dB帶寬可達(dá)1.6 GHz;過(guò)偏壓為1 V、2 V時(shí)最大探測(cè)效率分別高達(dá)52%和55%;在波長(zhǎng)500~800 nm之間器件響應(yīng)度較好,波長(zhǎng)為680 nm時(shí)單位響應(yīng)度峰值高達(dá)0.45 A/W.
【作者單位】： 重慶郵電大學(xué)光電工程學(xué)院/國(guó)際半導(dǎo)體學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 單光子雪崩二極管 標(biāo)準(zhǔn).μm CMOS工藝 保護(hù)環(huán) 深n阱 響應(yīng)度 dB帶寬 光子探測(cè)效率
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(No.61404019)資助~~
【分類號(hào)】：TN312.7
【正文快照】： 0m 光電探測(cè)技術(shù)應(yīng)用范圍的不斷擴(kuò)展,對(duì)其核心部件一光電探測(cè)器提出了更高要求2].傳統(tǒng)的光電倍增管(Photomultiplier Tube,PMT)、雪崩光電二極管(AvalanchePhoto Diode,APD)探測(cè)器由于其內(nèi)部雪崩增益有限、讀出機(jī)制緩慢、固有噪聲較大等缺點(diǎn),已無(wú)法滿足在高速情況下微弱光

【相似文獻(xiàn)】

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2 立新功;;不同結(jié)構(gòu)的雪崩二極管的雪崩區(qū)寬度[J];半導(dǎo)體情報(bào);1972年01期

3 映青;;微波雪崩二極管[J];半導(dǎo)體情報(bào);1972年02期

4 朝榮;;雪崩二極管[J];微電子學(xué);1973年04期

5 ;InGaAs/InP APD結(jié)構(gòu)SCM研究[J];光機(jī)電信息;2009年12期

6 白宗杰;陳世軍;周揚(yáng);;單光子雪崩二極管探測(cè)系統(tǒng)測(cè)試與設(shè)計(jì)分析[J];半導(dǎo)體技術(shù);2010年08期

7 王憶鋒;馬鈺;;單光子雪崩二極管猝熄電路的發(fā)展[J];電子科技;2011年04期

8 ;采用緩變組份異質(zhì)結(jié)抑制高速雪崩二極管的瞬態(tài)慢響應(yīng)[J];半導(dǎo)體光電;1982年04期

9 ;隔離層使長(zhǎng)波長(zhǎng)雪崩二極管成為可能[J];光機(jī)電信息;2000年01期

10 司馬博羽;陳錢(qián);何偉基;;單光子雪崩二極管的死時(shí)間效應(yīng)分析[J];光學(xué)技術(shù);2012年05期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 黃志遠(yuǎn);陳水生;孫小航;王霄;;雙漂移硅3mm連續(xù)波雪崩二極管[A];1995年全國(guó)微波會(huì)議論文集（下冊(cè)）[C];1995年

2 程守梅;;毫米波智能噪聲源的設(shè)計(jì)[A];2007年全國(guó)微波毫米波會(huì)議論文集（上冊(cè)）[C];2007年

3 程守梅;;可變智能噪聲源的設(shè)計(jì)[A];2011年全國(guó)微波毫米波會(huì)議論文集（下冊(cè)）[C];2011年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前7條

1 周曉亞;面向三維成像的單光子雪崩二極管及像素電路的研究[D];湘潭大學(xué);2013年

2 趙菲菲;一種高速度高密度的單光子雪崩二極管探測(cè)器的研究與設(shè)計(jì)[D];南京郵電大學(xué);2013年

3 伍保紅;基于ADL5317雪崩二極管系統(tǒng)參數(shù)測(cè)試電路的設(shè)計(jì)[D];華中師范大學(xué);2013年

4 李璐;基于雪崩二極管的通訊波段單光子探測(cè)器技術(shù)研究[D];天津大學(xué);2010年

5 黃飛;APD雪崩二極管測(cè)試系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[D];武漢理工大學(xué);2012年

6 劉修偉;高壓雪崩二極管的研究[D];沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué);2015年

7 何宗銳;三毫米波集成振蕩器研究[D];電子科技大學(xué);2003年

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本文編號(hào)：942049