本文關(guān)鍵詞：基于位置敏感器件的高精度激光位置檢測系統(tǒng)

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【摘要】：光電非接觸式測量方法對(duì)實(shí)現(xiàn)微位移測量具有重要意義,位置敏感器件(PSD)是實(shí)現(xiàn)光斑位置探測的傳感器件,其探測精度以及基于該器件的數(shù)據(jù)處理方法直接影響位置測量精度。依據(jù)PSD各電極輸出的光電流大小反比于入射光位置到各電極之間距離的工作原理,設(shè)計(jì)了二維激光位置檢測系統(tǒng)方案。為了提高PSD輸出微弱電流信號(hào)的穩(wěn)定性和位置探測精度,重點(diǎn)研究了信號(hào)調(diào)理電路設(shè)計(jì)、參數(shù)匹配、濾波方法與實(shí)時(shí)并行計(jì)算方法。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:在±2mm方形區(qū)域內(nèi),基于PSD所設(shè)計(jì)的探測系統(tǒng)單點(diǎn)穩(wěn)定性精度優(yōu)于2μm,能夠滿足依托項(xiàng)目中激光跟蹤儀對(duì)空間目標(biāo)準(zhǔn)確定位的要求以及基于激光位置檢測的高精度實(shí)時(shí)微位移測量相關(guān)應(yīng)用的需求。
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電研究院光電工程部;
【關(guān)鍵詞】： 測量 激光位置檢測 信號(hào)處理 位置敏感器件 位置精度
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)(2011YQ120022)
【分類號(hào)】：TH744.5
【正文快照】： 近年來,隨著激光器單色性、方向性等性能的提高,通過激光進(jìn)行定位、測量位移的光學(xué)非接觸測量技術(shù)081202-1在空間光通信、工業(yè)測量、激光制導(dǎo)、激光準(zhǔn)直、太陽跟蹤等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。基于激光的微位移測量系統(tǒng)以光電器件為橋梁,將像光轉(zhuǎn)換成電信號(hào),通過對(duì)電信號(hào)的采集、處

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 楊秀芳,郭彥珍;交流光柵位置檢測系統(tǒng)[J];西安理工大學(xué)學(xué)報(bào);2001年03期

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本文編號(hào)：939262