本文關(guān)鍵詞：離子色譜法檢測(cè)高純硅微粉中痕量鐵和氧化鐵雜質(zhì)

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【摘要】：建立了柱后衍生-紫外檢測(cè)-離子色譜法同時(shí)測(cè)定高純硅微粉中痕量鐵和氧化鐵雜質(zhì)含量的方法。方法選用具有陰陽離子交換基團(tuán)的高選擇性Thermo Scientific DionexTMIo n PacTMCS5A色譜柱,選擇與鐵形成單一絡(luò)合形態(tài)、中等絡(luò)合能力的2,6-吡啶二羧酸(PDCA)為淋洗液,在線柱后添加普適性的4-2-吡啶偶氮苯二酚(PAR)金屬顯色劑,于530 nm波長下準(zhǔn)確完成了二價(jià)和三價(jià)鐵離子的分離測(cè)定。結(jié)果表明,本方法對(duì)二價(jià)鐵離子和三價(jià)鐵離子的檢出限分別為0.013 mg/kg和0.006 mg/kg,線性相關(guān)系數(shù)r2均大于0.999,實(shí)際樣品中二價(jià)鐵和三價(jià)鐵的加標(biāo)回收率分別為79%~90%和92%~105%,具有較高的靈敏度、準(zhǔn)確度和選擇性。該方法可以準(zhǔn)確測(cè)定高純硅微粉中痕量二價(jià)鐵和三價(jià)鐵的含量,以此結(jié)果反饋高純硅微粉產(chǎn)品中鐵雜質(zhì)含量的不同來源,為其生產(chǎn)工藝的持續(xù)優(yōu)化和改進(jìn)提供重要的參考數(shù)據(jù)。
【作者單位】： 四川省分析測(cè)試服務(wù)中心;四川大學(xué)分析測(cè)試中心;賽默飛世爾科技(中國)有限公司;四川賽納斯分析檢測(cè)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 離子色譜法 柱后衍生 鐵 氧化鐵 硅微粉
【基金】：四川省科技支撐計(jì)劃項(xiàng)目(2015FZ0097)~~
【分類號(hào)】：TN304.12;O657.7
【正文快照】： *通訊聯(lián)系人.Tel:(028)86782693,E-m ail:luo jin_sns@163.co m.3.四川大學(xué)分析測(cè)試中心,四川成都610023;4.四川賽納斯分析檢測(cè)有限公司,四川成都610023)在現(xiàn)代電子工業(yè)中,低電導(dǎo)率、高絕緣性、低磁性的封裝材料成為制約超大規(guī)模集成電路發(fā)展的重要因素。以二氧化硅為主要成分

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