本文關(guān)鍵詞：膠體微球單層薄膜的制備、表征及應(yīng)用

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【摘要】：為使用大面積均勻分布的微球掩模制作納米柱LED,對(duì)膠體微球單層薄膜的自組裝技術(shù)進(jìn)行了研究。采用旋涂法、滴定法和氣液界面法,對(duì)2μm和455nm兩種粒徑的膠體微球進(jìn)行自組裝實(shí)驗(yàn),并使用掃描電子顯微鏡進(jìn)行觀察和比較,分析了三種方法的優(yōu)缺點(diǎn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,旋涂法在制備過(guò)程中容易出現(xiàn)多層堆積現(xiàn)象;滴定法容易形成單層薄膜,但膠體微球較為稀疏;氣液界面法可以實(shí)現(xiàn)較大面積的單層薄膜,膠體微球均勻分布,而且適用于各種基片,是一種簡(jiǎn)單有效的自組裝方法。優(yōu)選氣液界面法,在GaN基LED外延片上制備了均勻分布的納米柱結(jié)構(gòu),驗(yàn)證了這種方法用于納米柱LED芯片制備的可行性。
【作者單位】： 華南理工大學(xué)廣東省光電工程技術(shù)研究開(kāi)發(fā)中心;廣州現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院;
【關(guān)鍵詞】： 膠體微球 自組裝技術(shù) 氣液界面法 納米柱LED 微球掩膜
【基金】：863國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2014AA032609) 國(guó)家自然科學(xué)基金(61404050) 廣東省重大科技專項(xiàng)(2014B010119002) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金(2015ZM131)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：O484;TN312.8
【正文快照】： 1引言目前商品化的高亮度藍(lán)、綠光LED都是在In-GaN/GaN材料上實(shí)現(xiàn)的。在外延片的多量子阱結(jié)構(gòu)中,InGaN阱層與GaN壘層由于晶格失配和熱膨脹失配存在較大的應(yīng)變,從而降低了LED的內(nèi)量子效率。為釋放外延層的應(yīng)變,可通過(guò)干法刻蝕將普通平面結(jié)構(gòu)制作成納米柱結(jié)構(gòu)[1]。干法刻蝕工藝，

本文編號(hào)：882691