本文關(guān)鍵詞：355nm脈沖激光清洗溶膠-凝膠膜面顆粒污染

  更多相關(guān)文章： 激光清洗 等離子體沖擊波 溶膠-凝膠 顆粒污染 高功率激光

【摘要】：在強(qiáng)激光系統(tǒng)中,光學(xué)元件表面的顆粒污染極大地限制了元件的使用壽命.本文在355 nm納秒脈沖激光入射下,采用激光等離子體沖擊波光柵式掃描技術(shù),清洗了溶膠-凝膠Si O2薄膜表面的石英顆粒污染.當(dāng)瞄準(zhǔn)距d取為0.5~1.5 mm時(shí),膜面的清洗效率η達(dá)到90%以上.當(dāng)d0.5 mm時(shí),膜面易產(chǎn)生等離子體灼傷.當(dāng)d接近3 mm時(shí),清洗效果基本喪失.采用紫外-可見(jiàn)分光光度計(jì)、靜滴接觸角測(cè)量?jī)x與原子力顯微鏡對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)試.結(jié)果表明,沖擊波清洗之后,元件透射峰能恢復(fù)到污染前的狀態(tài).由于沖擊波對(duì)顆粒的碎裂作用,清洗后膜面均方根粗糙度由1.755 nm增大為2.681 nm,膜面與水的接觸角由48°減為6°,其抗污染能力明顯變差.
【作者單位】： 西南民族大學(xué)電氣信息工程學(xué)院;西南民族大學(xué)藥學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 激光清洗 等離子體沖擊波 溶膠-凝膠 顆粒污染 高功率激光
【基金】：西南民族大學(xué)中央高校基本科研業(yè)務(wù)費(fèi)(編號(hào):2015NZYQN21);西南民族大學(xué)碩士點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目(編號(hào):2016XWD-S0805)資助 四川省教育廳資助科研項(xiàng)目(編號(hào):15ZA0394)
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 1引言 溶膠-凝膠Si O2薄膜由于制備成本低廉、抗激光損傷性能優(yōu)良、鍍膜工藝簡(jiǎn)潔、適宜于大口徑元件鍍制,因而被廣泛應(yīng)用于強(qiáng)激光系統(tǒng)作為減反射薄膜[1~4].溶膠-凝膠薄膜具有疏松多孔的納米結(jié)構(gòu),孔內(nèi)充滿豐富的懸掛鍵,很容易吸納各類污染物[2,5].顆粒污染由于散射、反射降低

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 倪曉武,陸建,賀安之,李永年;激光等離子體沖擊波在眼科手術(shù)中的作用和副作用[J];中國(guó)激光;1993年05期

2 ;[J];;年期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 房文匯;門志偉;;強(qiáng)脈沖激光誘導(dǎo)等離子體沖擊波作用下液體相變研究[A];第十七屆全國(guó)光散射學(xué)術(shù)會(huì)議摘要文集[C];2013年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 程杰;利用激光等離子體沖擊波清洗硅片表面納米粒子的研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2015年

2 劉澤昊;陰影成像法研究納秒激光等離子體膨脹動(dòng)力學(xué)過(guò)程[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2013年

，

本文編號(hào)：858927