本文關(guān)鍵詞：355nm脈沖激光清洗溶膠-凝膠膜面顆粒污染

  更多相關(guān)文章： 激光清洗 等離子體沖擊波 溶膠-凝膠 顆粒污染 高功率激光

【摘要】：在強激光系統(tǒng)中,光學元件表面的顆粒污染極大地限制了元件的使用壽命.本文在355 nm納秒脈沖激光入射下,采用激光等離子體沖擊波光柵式掃描技術(shù),清洗了溶膠-凝膠Si O2薄膜表面的石英顆粒污染.當瞄準距d取為0.5~1.5 mm時,膜面的清洗效率η達到90%以上.當d0.5 mm時,膜面易產(chǎn)生等離子體灼傷.當d接近3 mm時,清洗效果基本喪失.采用紫外-可見分光光度計、靜滴接觸角測量儀與原子力顯微鏡對樣品進行測試.結(jié)果表明,沖擊波清洗之后,元件透射峰能恢復到污染前的狀態(tài).由于沖擊波對顆粒的碎裂作用,清洗后膜面均方根粗糙度由1.755 nm增大為2.681 nm,膜面與水的接觸角由48°減為6°,其抗污染能力明顯變差.
【作者單位】： 西南民族大學電氣信息工程學院;西南民族大學藥學院;
【關(guān)鍵詞】： 激光清洗 等離子體沖擊波 溶膠-凝膠 顆粒污染 高功率激光
【基金】：西南民族大學中央高�；究蒲袠I(yè)務費(編號:2015NZYQN21);西南民族大學碩士點建設項目(編號:2016XWD-S0805)資助 四川省教育廳資助科研項目(編號:15ZA0394)
【分類號】：TN249
【正文快照】： 1引言 溶膠-凝膠Si O2薄膜由于制備成本低廉、抗激光損傷性能優(yōu)良、鍍膜工藝簡潔、適宜于大口徑元件鍍制,因而被廣泛應用于強激光系統(tǒng)作為減反射薄膜[1~4].溶膠-凝膠薄膜具有疏松多孔的納米結(jié)構(gòu),孔內(nèi)充滿豐富的懸掛鍵,很容易吸納各類污染物[2,5].顆粒污染由于散射、反射降低

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本文編號：858927