本文關(guān)鍵詞：伺服控制油壓技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體塑封壓機(jī)

  更多相關(guān)文章： 伺服控制 雙閉環(huán) 高精度 節(jié)能

【摘要】：早期半導(dǎo)體塑封壓機(jī)均是采用異步電機(jī)和定量泵組合,通過比例閥控制壓力、流量輸出,發(fā)展中期塑封壓機(jī)采用過變頻技術(shù),但是控制精度均未得到提高,現(xiàn)在采用伺服控制液壓技術(shù),直接控制伺服電機(jī)輸出,采用壓力和電機(jī)速度雙反饋,提升控制輸出精度。
【作者單位】： 銅陵富仕三佳機(jī)器有限公司技術(shù)部;安徽中智光源科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 伺服控制 雙閉環(huán) 高精度 節(jié)能
【分類號】：TN305
【正文快照】： 早期的半導(dǎo)體封裝設(shè)備都是采用異步電機(jī)和定量泵的組合,通過液壓比例閥控制壓力和流量輸出,隨著伺服電機(jī)的功率增大,逐步的滿足了目前大功率的使用需求,控制器精度也不斷的提高,中期的變頻技術(shù)也逐漸被伺服控制油壓技術(shù)替代,目前使用的伺服控制油壓技術(shù),主要解決了客戶降低能

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前9條

1 張春林;;外腔倍頻伺服控制系統(tǒng)的研究[J];激光與紅外;2007年11期

2 孫番典,劉俊刁,熊建文,李慶春;一組高精度的半導(dǎo)體激光二極管伺服控制電路[J];惠州大學(xué)學(xué)報(bào)(社會科學(xué)版);2001年04期

3 王勇;余成;;高精度三色曝光機(jī)的伺服控制研究[J];東莞理工學(xué)院學(xué)報(bào);2006年03期

4 汪德才,李從心;激光快速成型機(jī)力矩伺服控制系統(tǒng)的構(gòu)造及其控制器設(shè)計(jì)[J];機(jī)床與液壓;2002年05期

5 王立偉;楊洪;董硯;王睿;;冷軋薄板激光焊機(jī)激光梁伺服控制的實(shí)現(xiàn)[J];微電機(jī);2012年04期

6 陳剛;王洪誠;王鈺涵;許瑾;;基于FPGA的自動相機(jī)聚焦電機(jī)伺服控制系統(tǒng)集成電路(IC)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[J];微電機(jī);2012年07期

7 廖洪波;朱文亮;王永宏;范大鵬;;光電伺服控制軟件調(diào)試工具頂層框架設(shè)計(jì)與應(yīng)用[J];航空兵器;2014年01期

8 ;高性能IRMCK201型可配置數(shù)字AC伺服控制IC[J];電子元器件應(yīng)用;2005年04期

9 ;[J];;年期

，

本文編號：813602