本文關(guān)鍵詞：激光誘導(dǎo)精密沉積銅箔實(shí)驗(yàn)

  更多相關(guān)文章： 激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移 脈沖能量 精密沉積 微細(xì)陣列

【摘要】：通過改變激光脈沖能量和激光聚焦位置,進(jìn)行了激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移銅箔的實(shí)驗(yàn),并通過超景深三維顯微鏡和掃描電子顯微鏡對(duì)基片和約束層上沉積的銅箔進(jìn)行了觀察,探討了激光脈沖能量和激光聚焦位置對(duì)銅沉積效果所產(chǎn)生的影響,在此基礎(chǔ)上研究了激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移的機(jī)理。研究結(jié)果表明,在石英玻璃基片上沉積的銅箔直徑最小可達(dá)10μm,遠(yuǎn)小于激光光斑直徑;在約束層上也沉積有銅箔,即同時(shí)出現(xiàn)了激光誘導(dǎo)向后轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象;光脈沖能量增大,石英玻璃上沉積的銅箔逐漸分散,尺寸逐漸增大,而且呈環(huán)形分布;通過調(diào)節(jié)靶材離焦點(diǎn)距離,可以使環(huán)形消失,并使沉積尺寸降到激光光斑尺寸以下。最后成功實(shí)現(xiàn)了微細(xì)陣列的激光誘導(dǎo)沉積。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)特種能場(chǎng)加工實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移 脈沖能量 精密沉積 微細(xì)陣列
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(11172072,51175091)
【分類號(hào)】：TG146.11;TN249
【正文快照】： 0引言激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移(laser induced forwardtransfer,LIFT)技術(shù)早在二十世紀(jì)七十年代就有學(xué)者提出,經(jīng)過幾十年的發(fā)展,針對(duì)不同靶材及在不同基片上的沉積,都已有相當(dāng)多的研究成果。早期的研究關(guān)注于印刷行業(yè)的應(yīng)用,有學(xué)者利用Nd:YAG脈沖激光和石墨靶材,在紙張和聚酯薄膜上打

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1 周南;周亢;丁圭吉;;關(guān)于激光誘導(dǎo)裂析譜專題的歐洲-地中海會(huì)議2007(Ⅰ)[J];分析試驗(yàn)室;2009年08期

2 周南;周亢;丁圭吉;;關(guān)于激光誘導(dǎo)裂析譜專題的歐洲-地中海會(huì)議2007(Ⅱ)[J];分析試驗(yàn)室;2009年09期

3 ;激光誘導(dǎo)腦電波[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2009年06期

4 周政卓,邱明新,黃賽棠,畢琦秀,顧加O，

本文編號(hào)：810229