本文關(guān)鍵詞：硅同位素的應(yīng)用及分離研究進(jìn)展

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【摘要】：介紹了同位素純硅材料的應(yīng)用研究進(jìn)展,綜述了低溫精餾法、激光法、氣體離心法、化學(xué)交換法等方法在硅同位素分離領(lǐng)域的研究進(jìn)展,分析了目前工業(yè)化過(guò)程分離硅同位素存在的問(wèn)題,指出化學(xué)交換法將是實(shí)現(xiàn)硅同位素工業(yè)化分離的最優(yōu)路徑.
【作者單位】： 渤海大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 硅同位素 同位素分離 化學(xué)交換
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No:21606023) 遼寧省博士科研啟動(dòng)基金項(xiàng)目(No:201501198)
【分類(lèi)號(hào)】：TN304.12;O611.7
【正文快照】： 0引言在現(xiàn)代電子和半導(dǎo)體工業(yè)中,硅材料獲得了廣泛的應(yīng)用,超過(guò)90%的半導(dǎo)體元器件都是由硅制成的.天然硅含有三種穩(wěn)定的同位素28Si、29Si、30Si,其豐度分別為92.23%,4.67%,3.10%〔1〕.近年來(lái),同位素純的硅材料以其優(yōu)良的特性開(kāi)始受到科學(xué)家們的關(guān)注.1同位素純硅材料的應(yīng)用1.128

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：792762