本文關(guān)鍵詞：透射電鏡電學(xué)測(cè)試樣品桿與掃描電鏡聯(lián)合系統(tǒng)的搭建

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【摘要】：透射電子顯微鏡電學(xué)測(cè)試樣品桿是用于透射電子顯微鏡中測(cè)試樣品外場(chǎng)加載下電學(xué)性能的專用儀器。本文介紹通過對(duì)法蘭及其它對(duì)接接口的系列設(shè)計(jì),使該系統(tǒng)可應(yīng)用于掃描電子顯微鏡中。該系列設(shè)計(jì)改造,能夠大大拓展該電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)的應(yīng)用范圍。以單根Si納米線為例,在掃描電子顯微鏡中利用該電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)Si納米線彎曲變形下電輸運(yùn)性能的研究。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)固體微結(jié)構(gòu)與性能研究所;浙江大學(xué)電子顯微鏡中心材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 掃描電鏡 透射電鏡 電學(xué)性能
【基金】：全國(guó)優(yōu)博基金資助項(xiàng)目(No.201214) 北京市科技新星資助項(xiàng)目(No.Z121103002512017) 北京市教委資助項(xiàng)目(No.KM201310005009) 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.11374029;No.11234011)
【分類號(hào)】：TN16
【正文快照】：

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本文編號(hào)：783377