發(fā)布時間：2017-09-02 12:42

  本文關鍵詞：基于交替相移掩模矢量空間像的偏振像差檢測方法

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【摘要】：提出一種基于交替相移掩模空間像的光刻機投影物鏡偏振像差檢測方法。采用泡利-澤尼克系數(shù)表征偏振像差,結合X和Y兩種線性偏振照明方式,用像傳感器測量不同照明條件下掩�？臻g像的成像位置偏移與最佳焦面偏移,利用標定的偏振像差靈敏度矩陣計算獲得泡利-澤尼克系數(shù)。采用光刻仿真軟件對本文方法的有效性進行了驗證,結果表明其檢測精度優(yōu)于3.07 mλ。
【作者單位】： 中國科學院上海光學精密機械研究所信息光學與光電技術實驗室;中國科學院大學;新疆師范大學物理與電子工程學院;中芯國際集成電路制造有限公司;
【關鍵詞】： 成像系統(tǒng) 光學制造 光刻 偏振像差 泡利-澤尼克系數(shù) 偏振像差測量
【基金】：國家自然科學基金(61275207,61205102,61474129,61405210)
【分類號】：TN305.7
【正文快照】： 隨著光刻特征尺寸的不斷減小,光刻機的偏振效應越來越突顯。作為光刻機偏振效應的一個主要來源,投影物鏡的偏振像差會引起圖形位置偏移(IPE)、最佳焦面偏移(BFS)和圖形特征尺寸(CD)誤差等,導致成像質量和工藝窗口的惡化[1-3]。當采用高數(shù)值孔徑(NA)投影物鏡和偏振照明時,偏振，

本文編號：778655